Вакуумный криогенный насос
KDCP-12L предназначен для получения безмасляного высокого вакуума в технологических и исследовательских системах. При подборе учитывают рабочие газы, объём камеры, требуемую скорость откачки, режим регенерации и параметры присоединения.
Криогенный насос применяют в системах, где требуется чистый безмасляный вакуум и высокая скорость откачки: установках напыления и испарения, ионной имплантации, электронно-лучевых системах, ускорительной технике, имитаторах космического пространства и другом высоковакуумном оборудовании.
Состав поставки и исполнение соединительных линий определяются конфигурацией системы.
Конфигурацию насоса определяют по рабочей среде, объёму камеры, фланцевому присоединению, режиму работы и составу криогенной инфраструктуры.
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Скорость откачки H2 | 9000 л/с |
| Скорость откачки Ar | 3000 л/с |
| Скорость откачки H2O | 11 000 л/с |
| Скорость откачки N2 | 3800 л/с |
| Предельное давление | 5 × 10−7 Па |
| Газопоглощающая ёмкость по Ar | 2000 станд. л |
| Газопоглощающая ёмкость по H2 | 32 станд. л |
| Максимальный расход Ar | 700 sccm |
| Время захолаживания | 85 мин |
| Время быстрой регенерации | 75 мин |
| Время полной регенерации | 150 мин |
| Переходный объём (crossover) | 220 Па·л |
| Управление | Ручной контроллер или дистанционное управление по RS-232 |
| Присоединительный фланец | ISO / CF 300 |
| Межсервисный интервал | 15 000 ч |
Передайте параметры вакуумной камеры, состав рабочей среды, требуемое давление и особенности подключения. Инженеры ГК «Криосистемы» подберут конфигурацию оборудования под задачу.
