Вакуумный криогенный насос
KDCP-16 предназначен для получения безмасляного высокого вакуума в составе технологических и исследовательских систем. Модель подбирают по рабочим газам, объёму камеры, требуемой скорости откачки, газопоглощающей ёмкости и параметрам инженерной инфраструктуры.
Криогенный насос применяют в системах, где требуется чистый безмасляный вакуум и высокая скорость откачки: установках напыления и испарения, ионной имплантации, электронно-лучевых системах, ускорительной технике, имитаторах космического пространства и другом высоковакуумном оборудовании.
Состав поставки и совместимость компонентов определяются конфигурацией системы.
Конфигурацию насоса определяют по рабочей среде, объёму камеры, фланцевому присоединению, режиму работы и составу криогенной инфраструктуры.
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Скорость откачки H2 | 12 000 л/с |
| Скорость откачки Ar | 4500 л/с |
| Скорость откачки H2O | 16 800 л/с |
| Скорость откачки N2 | 4800 л/с |
| Предельное давление | 5 × 10−7 Па |
| Газопоглощающая ёмкость по Ar | 5000 станд. л |
| Газопоглощающая ёмкость по H2 | 48 станд. л |
| Максимальный расход Ar | 900 sccm |
| Время захолаживания | 105 мин |
| Время быстрой регенерации | 95 мин |
| Время полной регенерации | 185 мин |
| Переходный объём (crossover) | 380 Па·л |
| Управление | Ручной контроллер или дистанционное управление по RS-232 |
| Присоединительный фланец | ISO 400 |
| Межсервисный интервал | 15 000 ч |
Передайте параметры вакуумной камеры, состав рабочей среды, требуемое давление и особенности подключения. Инженеры ГК «Криосистемы» подберут конфигурацию оборудования под задачу.
