Криогенные насосы
PRIDE CRYOGENICS
Крионасосы с замкнутым гелиевым холодильным циклом для технологических и исследовательских вакуумных систем.
Модели и параметрыВакуумная техника
Криогенные вакуумные насосы
Крионасосы улавливают газы и пары на охлаждённых поверхностях и адсорбенте. Они применяются для получения чистого высокого вакуума в технологических камерах, научных установках и испытательных комплексах.
Каталог оборудования
Крионасосы и комплектующие
Выбор зависит от состава газа, размеров камеры, длительности технологического цикла и доступной инфраструктуры охлаждения.
Крупные вакуумные системы
Насосы большой производительности
Решения замкнутого цикла и с заливным азотным экраном. Подбор по газовой нагрузке, теплопритоку и циклу работы камеры.
Подробнее
Компоненты системы
Компрессоры для крионасосов
Подбор гелиевого компрессора, линий и управления с учётом криоголовки, числа насосов и способа охлаждения.
ПодробнееПринцип работы
Конденсация и адсорбция газов
Крионасос удерживает откачанный газ внутри насоса. По мере накопления газа требуется восстановление откачивающей способности — регенерация.
Охлаждённые поверхности
В двухступенчатой конструкции более тёплый экран перехватывает водяной пар и снижает тепловую нагрузку на холодную ступень. Азот, кислород и аргон улавливаются на более холодных криопанелях.
Температуры и газовая нагрузка связаны с конструкцией насоса и режимом его работы.
Низкотемпературный адсорбент
Для водорода и других трудно конденсируемых газов используется адсорбент на холодной ступени. Возможности откачки водорода, гелия и неона оценивают отдельно по паспортным данным.
Скорость и ёмкость по разным газам могут существенно различаться, поэтому одного значения производительности для подбора недостаточно.
Безмасляная откачка относится к вакуумной полости насоса. Компрессор циркуляции гелия работает в отдельном холодильном контуре. Чистота всей установки зависит также от форвакуумного насоса, арматуры, материалов камеры и режима эксплуатации.
Технические характеристики
Какие параметры сравнивают при подборе
Характеристики сопоставляют для конкретных газов и одинаковых условий измерения. Присоединение и диаметр насоса сами по себе не определяют результат откачки камеры.
| Параметр | Что оценивают |
|---|---|
| Скорость | Скорость откачки по N₂, Ar, H₂ и другим газам в л/с. Учитывают влияние фланца, затвора и проводимости тракта. |
| Ёмкость | Количество газа, которое насос способен удержать до регенерации. Ёмкость проверяют отдельно для газов технологического процесса. |
| Вакуум | Предельное и рабочее давление, состав остаточного газа, газовыделение камеры и требования к чистоте. |
| Нагрузка | Допустимый поток процессного газа, тепловая нагрузка и продолжительность работы между регенерациями. |
| Запуск | Время захолаживания и условия подключения к камере после предварительной откачки. |
| Цикл | Способ и продолжительность регенерации, проверка готовности и время возвращения в технологический режим. |
| Габариты | Фланец, монтажная ориентация, горизонтальная или вертикальная компоновка, место для обслуживания. |
| Гелиевый контур | Совместимость с криоголовкой, число подключаемых насосов, охлаждение, электропитание и гелиевые линии. |
| Сигналы | Датчики температур, сигналы состояния, блокировки, интерфейсы и автоматизация регенерации — по комплектации. |
Комплектация
Крионасос работает в составе системы
Согласование насоса, компрессора, форвакуумной откачки и управления необходимо как для новой камеры, так и при замене оборудования.
Насос и холодильный контур
Криоголовка охлаждает криопанели; гелиевые линии связывают её с компрессором. Выбирают совместимые соединения, длину линий, рабочие параметры и состав кабелей.
В системах замкнутого цикла криопанели охлаждаются рефрижератором. Заливной азотный экран — отдельная конструктивная конфигурация с собственной инфраструктурой.
Компрессор и охлаждение
Для систем CTI-Cryogenics применяются, в частности, компрессоры 8200, 8600 и 9700A. Их совместимость с насосом, возможность работы с несколькими криоголовками и режим охлаждения проверяют по исполнению.
При замене оборудования Brooks Automation / CTI-Cryogenics передайте маркировку насоса и компрессора. Для существующей сети 220 В / 1 ф или 380 В / 3 ф / 50 Гц также нужны данные шильдика и подключения.
Компрессоры для комплектации →Форвакуум и арматура
Перед началом криогенной откачки камеру и насос подготавливают форвакуумным насосом. Условия подключения определяются допустимой газовой нагрузкой выбранного крионасоса.
В состав узла входят затвор, измерение давления, линии продувки и отвода газа при регенерации. Их конфигурацию согласуют с процессом.
Контроль и автоматизация
Контроллер учитывает температуру криопанелей, готовность компрессора и состояние вакуумного тракта. Для автоматических систем, в том числе On-Board, согласуют алгоритмы регенерации и сигналы внешнего управления.
Дистанционное управление, горизонтальное исполнение и воздушное или водяное охлаждение относятся к конкретной комплектации.
Рабочий цикл
Газовая ёмкость и регенерация
Накопленный газ удаляют при восстановлении насоса. Продолжительность цикла зависит от модели, состава и количества газа, способа отогрева и оснащения системы.
- 01
Изоляция от камеры
Переход к регенерации выполняется по алгоритму установки с учётом состояния затвора и откачной системы.
- 02
Отогрев и удаление газа
Удержанный газ высвобождается с криоповерхностей. Продувку и отвод газа предусматривают в согласованной схеме.
- 03
Откачка и контроль
Проверяют условия завершения восстановления перед следующим захолаживанием.
- 04
Возврат в рабочий режим
После охлаждения и подтверждения готовности насос подключают к технологическому циклу.
При проектировании учитывают весь цикл камеры: загрузку, предварительную откачку, процесс, накопление газа и регенерацию. Высокая скорость откачки не заменяет достаточную газовую ёмкость.
Области применения
Промышленность и научные установки
Криогенную откачку рассматривают для процессов с требованиями к чистоте вакуума и быстродействию. Совместимость определяют по рабочим газам, тепловой нагрузке и режиму камеры.
- Полупроводниковая промышленность
- Электронная промышленность
- Нанесение вакуумных покрытий
- Производство тонких плёнок
- Металлургия чистых металлов
- Установки термоядерного синтеза
- Лабораторные установки
- Научные исследования
- Высокотехнологичные производства
Подбор по ТЗ
Что передать для подбора крионасоса
Для новой установки нужна схема камеры и рабочего цикла. Для замены — маркировка действующего насоса, компрессора, контроллера и фотографии подключений.
| Данные | Что указать |
|---|---|
| Камера | Объём, материал, присоединительный фланец, ориентация и доступное место для монтажа. |
| Газы | Состав и расход процессных газов, наличие водяного пара, водорода, гелия и других компонентов. |
| Вакуум | Рабочее и предельное давление, требования к остаточному газу и чистоте. |
| Процесс | Частота загрузки, длительность операций, требуемое время откачки и допустимые перерывы. |
| Нагрузка | Газовыделение, расход газа за цикл, теплоприток и условия эксплуатации. |
| Цикл | Требуемая длительность работы между регенерациями, способ продувки и отвода газа. |
| Ресурсы | Электропитание, охлаждающая вода или воздушное охлаждение, продувочный газ и форвакуумная система. |
| Сигналы | Модель контроллера, интерфейсы, блокировки и требования к автоматическому режиму. |
| Поставка | Насос отдельно или система с компрессором, линиями, арматурой, управлением, документацией и пусконаладкой. |
Вопросы по выбору
Что уточнить перед заказом
Нужен ли отдельный форвакуумный насос?
Да, для подготовки системы и удаления газа при регенерации используется предварительная откачка. Условия подключения крионасоса к камере определяются документацией выбранной модели и газовой нагрузкой.
Почему нельзя выбирать только по скорости откачки?
Скорость зависит от газа, а время работы до регенерации — ещё и от газовой ёмкости и потока. Также учитывают проводимость тракта, теплоприток и рабочий цикл камеры.
Всем крионасосам нужен жидкий азот?
Нет. В системах с замкнутым гелиевым холодильным циклом холод создаёт рефрижератор. Заливной азотный экран применяется в отдельных конструкциях и требует соответствующей инфраструктуры.
Можно ли подключить насос к имеющемуся компрессору?
Совместимость проверяют по моделям насоса и криоголовки, параметрам компрессора, линиям, разъёмам и управлению. Принадлежность к одной марке или сходное подключение не гарантирует взаимозаменяемость.
Как часто требуется регенерация?
Интервал зависит от количества и состава накопленного газа, температуры криопанелей и требований процесса. Регламент и критерии запуска регенерации задают для конкретной модели и установки.
Какие гарантия и сервис предусмотрены?
Гарантийные условия и регламент обслуживания определяются комплектацией, документацией изготовителя и договором поставки. Состав диагностики, пусконаладки, обучения и дальнейшего сопровождения согласуют в предложении.
Полезные материалы
Статьи о криогенной откачке
Конструкция, особенности управления и рабочие циклы крионасосов.
Связанное оборудование и услуги
Для комплектации вакуумной системы
Измерение вакуумаКонтроль давления и готовности вакуумного тракта.Перейти в каталог →Вакуумные затворыИзоляция камеры и подключение откачной линии.Перейти в раздел →Проектирование системКомпоновка, согласование оборудования и управления.Подробнее об услуге →Оплата и доставкаПорядок согласования предложения и поставки.Подробнее об условиях →
Инженерный подбор
Подобрать криогенный вакуумный насос
Передайте параметры камеры, состав газа и рабочий цикл. Подготовим предложение по насосу, компрессору и согласованному составу системы. Стоимость и сроки поставки указываются в коммерческом предложении.
- Подбор по вакуумным и технологическим требованиям.
- Согласование совместимости и комплектации.
- Документация, пусконаладка и обучение — по объёму заказа.
Для новой системы и замены оборудования
Достаточно начать со схемы камеры, перечня газов, требуемого давления и данных действующего оборудования. Поможем уточнить техническое задание и состав поставки.
Актуальные предложения и ключевые направления
