Криогенные вакуумные насосы серий CRYO-TORR® и ON-BOARD® для промышленных, лабораторных и высоковакуумных установок.
В этой главе представлена продукция компании CTI Cryogenics (подразделение компании Brooks Automation Inc., США), мирового лидера в производстве крионасосов, криогенных охладителей и гелиевых компрессоров. В настоящее время крионасосы этой компании занимают 80% мирового рынка (70000 единиц в эксплуатации) благодаря наилучшему соотношению качества, цены, номенклатуры и развитой технической и сервисной поддержке. История компании насчитывает более 40 лет конструкторского и производственного опыта создания криорефрижераторов и крионасосов на основе цикла Гиффорда-МакМагона.
Крионасосы сегодня широко используются в различных областях промышленности, в том числе полупроводниковой и электронной, в установках нанесения вакуумных покрытий, в производстве тонких пленок, металлургии чистых металлов, в установках термоядерного синтеза, в лабораторных установках и других высокотехнологичных приложениях, везде, где требуется чистый вакуум и высокая быстрота действия.
Крионасосы имеют ряд существенных преимуществ по сравнению с другими средствами получения высокого вакуума, такие как: чистота получаемого вакуума, высокая производительность, высокая эффективность откачки водяных паров, высокое давление включения (150–300 Торр·л), относительно невысокая стоимость по сравнению с насосами аналогичной производительности и чистоты получаемого вакуума.
Принцип действия крионасосов основан на явлениях конденсации и сорбции при низких температурах. На первой ступени насоса при температуре 65–70 К конденсируются водяные пары и «тяжелые» газы, на второй, при температуре 12–17 К, — азот, кислород и аргон. Гелий, водород и неон удерживаются на второй ступени за счет криоадсорбции на активированном угле. Это накопительные насосы, которые требуют периодической регенерации при заполнении рабочей поверхности конденсатом.
Технические и эксплуатационные особенности оборудования CTI Cryogenics.
Высокая надежность — минимальный срок службы 6 лет (25000 часов работы).
Гарантийный срок — 18 месяцев.
Сервисное обслуживание в любой точке мира (в странах СНГ его проводит компания «Криосистемы»).
Техническая поддержка по всем вопросам, связанным с конкретными приложениями.
Широкий диапазон электропитания оборудования, включая российские стандарты 220 В/1 ф и 380 В/3 ф/50 Гц.
Наличие моделей с горизонтальной конфигурацией, водяным и воздушным охлаждением, моделей для сверхвысокого вакуума и моделей On-Board с автоматическим контролем всех режимов работы, включая регенерацию.
Криогенные вакуумные насосы серии Cryo-Torr® — надежные и выносливые высоковакуумные насосы, которые стояли у истоков и способствовали бурному развитию современной полупроводниковой промышленности в 80-е годы.
Сегодня насосы Cryo-Torr® широко применяются в промышленных и лабораторных установках, где качество, надежность и невысокая цена являются основными критериями.
Насосы серии Cryo-Torr® выпускаются с присоединительным фланцем ISO диаметром от 100 до 500 мм. Они могут также изготавливаться с фланцем ConFlat в конфигурации для сверхвысоковакуумных приложений (UHV).
Компания «Криосистемы» предлагает целый ряд различных конфигураций крионасосов серии Cryo-Torr®. Выпускаются модели с повышенной емкостью по водороду. Мы также предлагаем полную палитру периферийного оборудования, которым вы можете комплектовать или дополнять крионасосы Cryo-Torr® для контроля процессов форвакуумной откачки и регенерации, включая вакуумные клапаны, нагреватели, соленоидные вентили и пр.
В нашей компании вы можете выбрать и купить вакуумный насос серии Cryo-Torr®, узнать характеристики и подобрать модель, исходя из вашего технического задания. Актуальная цена на вакуумное оборудование предоставляется по запросу. Свяжитесь с нами любым удобным для вас способом.
Крионасосы серии On-Board® компании CTI Cryogenics являются родоначальниками нового направления в области получения вакуума — автоматизации и оптимизации всех режимов работы без участия оператора.
Крионасосы On-Board® также характеризуются быстрой регенерацией, которая существенно уменьшает простой оборудования между производственными циклами. Они были первыми насосами с усовершенствованным контролем температуры для улучшения согласованности быстроты откачки и высокой производительности. Встроенная в них электроника дала возможность дистанционного управления и контроля насосов, расположенных в различных точках мира.
Автоматизация режимов работы, управление регенерацией и контроль рабочих параметров крионасосов.
Для систем, состоящих из нескольких крионасосов серии On-Board® и соединенных в одну сеть, регенерацию предпочтительно проводить последовательно. При последовательной координированной регенерации нескольких насосов эффективность их использования будет значительно выше, нежели при одновременной регенерации сразу всех насосов.
Каждый крионасос On-Board® обеспечивает устойчивое поддержание уровня вакуума, даже если технологический процесс в камере протекает нестабильно. Для этого введен автоматический контроль температуры первой ступени крионасоса.
В процессах напыления, в частности, при отсутствии такого контроля температура первой ступени может опускаться до 40 К. Это приводит к конденсации на ней рабочего газа — аргона, который затем выделяется при более низких давлениях и препятствует откачке других газов, что приводит к повышению давления в камере.
С целью своевременного сервисного обслуживания и ремонта в крионасосы On-Board® интегрируют контроллеры с функцией дистанционной передачи данных о работе насоса, таких как давление, температура и др.
Эти данные могут передаваться как на локальный компьютер, так и через сеть Интернет в центр мониторинга. Основываясь на результатах многомесячного мониторинга, сервисный центр может своевременно отследить тенденцию к ухудшению работы крионасоса и уведомить пользователя о необходимости профилактических или сервисных работ до того, как насос потеряет свою работоспособность.
В нашей компании вы можете выбрать и купить вакуумный насос серии On-Board® компании CTI Cryogenics, узнать характеристики и подобрать модель, исходя из вашего технического задания. Актуальная цена на вакуумное оборудование предоставляется по запросу. Свяжитесь с нами любым удобным для вас способом.
