CTI CRYOGENICS

КРИОГЕННЫЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ

В этой главе представлена продукция компании CTI Cryogenics (подразделение компании Brooks Automation Inc., США), мирового лидера в производстве крионасосов, криогенных охладителей и гелиевых компрессоров. В настоящее время крионасосы этой компании занимают 80% мирового рынка (70000 единиц в эксплуатации) благодаря наилучшему соотношению качества, цены, номенклатуры и развитой технической и сервисной поддержке. История компании насчитывает более 40 лет конструкторского и производственного опыта создания криорефрижераторов и крионасосов на основе цикла Гиффорда-МакМагона.

Крионасосы сегодня широко используются в различных областях промышленности, в том числе полупроводниковой и электронной, в установках нанесения вакуумных покрытий, в производстве тонких пленок, металлургии чистых металлов, в установках термоядерного синтеза, в лабораторных установках и других высокотехнологичных приложениях, везде, где требуется чистый вакуум и высокая быстрота действия. Крионасосы имеют ряд существенных преимуществ по сравнению с другими средствами получения высокого вакуума, такие как: чистота получаемого вакуума, высокая производительность, высокая эффективность откачки водяных паров, высокое давление включения (150 - 300 Торр•л), относительно невысокая стоимость (по сравнению с насосами аналогичной производительности и чистоты получаемого вакуума).

Принцип действия крионасосов основан на явлениях конденсации и сорбции при низких температурах. На первой ступени насоса при температуре 65 - 70 К конденсируются водяные пары и "тяжелые" газы, на второй, при температуре 12 - 17 К - азот, кислород и аргон. Гелий, водород и неон удерживаются на второй ступени за счет криоадсорбции на активированном угле. Это накопительные насосы и требуют периодической регенерации при заполнении рабочей поверхности конденсатом.

Преимущества:

высокая надежность - минимальный срок службы 6 лет (25000 часов работы);
гарантийный срок - 18 месяцев;
сервисное обслуживание в любой точке мира (в странах СНГ его проводит компания "Криосистемы");
техническая поддержка по всем вопросам, связанными с конкретными приложениями;
широкий диапазон электропитания оборудования, включая российские стандарты 220В/1ф и 380В/3ф/50 Гц;
наличие моделей с горизонтальной конфигурацией, водяным и воздушным охлаждением, моделей для сверхвысокого вакуума и моделей On-Board с автоматическим контролем всеми режимами работы, включая регенерацию.

КРИОГЕННЫЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ

Серия CRYO-TORR®

Криогенные вакуумные насосы серии Cryo-Torr® надежные и выносливые высоковакуумные насосы, которые стояли у истоков и способствовали бурному развитию современной полупроводниковой промышленности в 80-е годы. Сегодня насосы Cryo-Torr® широко применяются в промышленных и лабораторных установках, где качество, надежность и невысокая цена являются основными критериями.

Компания CTI Cryogenics была первой, кто одновременно предложил версию крионасоса в "плоской" конфигурации для приложений в компактном исполнении и "прямой" – стандартной конфигурации для традиционных приложений.

Насосы серии Cryo-Torr® выпускаются с присоединительным фланцем ISO диаметром от 100 до 500 мм. Они могут также изготавливаться с фланцем ConFlat в конфигурации для сверхвысоковакуумных приложений (UHV).

Компания "Криосистемы" предлагает целый ряд различных конфигурации крионасосов серии Cryo-Torr®, характеристики которых приведены ниже в таблице.

Выпускаются модели с повышенной емкостью по водороду. Мы также предлагаем полную палитру периферийного оборудования, которым Вы можете комплектовать или дополнять крионасосы Cryo-Torr® , для контроля процессов форвакуумной откачки и регенерации, включая вакуумные клапаны, нагреватели, соленоидные вентили и пр.

В нашей компании вы можете выбрать и купить вакуумный насос серии Cryo-Torr®, узнать характеристики и подобрать модель, исходя из вашего технического задания. Актуальная цена на вакуумное оборудование предоставляется по запросу. Свяжитесь с нами любым удобным для вас способом.

ЗАПРОСИТЬ КОНСУЛЬТАЦИЮ ПОСМОТРЕТЬ КОНТАКТЫ

КРИОГЕННЫЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ

Серия ON-BOARD®

Крионасосы серии On-Board® компании CTI Cryogenics являются родоначальниками нового направления в области получения вакуума, продолжающегося и по сей день автоматизации и оптимизации всех режимов работы без участия оператора.

Крионасосы On-Board® также характеризуются быстрой регенерацией, которая существенно уменьшает простой оборудования между производственными циклами. Они были первыми насосами с усовершенствованным контролем температуры, для улучшения согласованности быстроты откачки и высокой производительности. Встроенная в них электроника, также впервые, дала возможность дистанционного управления и контроля насосов, расположенных в различных точках мира.

Быстрая регенерация

Несмотря на способность откачки крионасосом огромного количества газа он должен в конечном итоге регенерироваться для удаления сконденсированных газов и восстановления откачных характеристик на необходимом уровне. Процесс регенерации может занимать до 5 часов полезного времени. За счет нагрева криопанелей крионасоса On-Board® и улучшенного контроля системы время полной регенерации сокращается от половины до одной трети времени традиционной регенерации (насосы Cryo-Torr®). Кроме того, функция "быстрой" регенерации FastRegen® позволяет еще больше сократить время регенерации. В этом режиме регенерируется только вторая ступень крионасоса, которая обычно насыщается значительно быстрее первой.

Для систем, состоящих из нескольких крионасосов серии On-Board® и соединенных в одну сеть, регенерацию предпочтительно проводить последовательно. При последовательной координированной регенерации нескольких насосов, эффективность их использования будет значительно выше, нежели, при одновременной регенерации сразу всех насосов.

Обеспечение устойчивого уровня вакуума

Каждый крионасос On-Board® обеспечивает устойчивое поддержание уровня вакуума, даже если технологический процесс в камере протекает нестабильно. Для этого введен автоматический контроль температуры первой ступени крионасоса. В процессах напыления, в частности, при отсутствии такого контроля, температура первой ступени может опускаться до 40К. Это приводит к конденсации на ней рабочего газа - аргона, который затем выделяется при более низких давлениях и препятствует откачке других газов, что приводит к повышению давления в камере.

Дистанционный контроль

С целью своевременного сервисного обслуживания и ремонта, в крионасосы On-Board® интегрируют контроллеры с функцией дистанционной передачи данных о работе насоса, таких как давление, температура и др. Эти данные могут передаваться, как на локальный компьютер, так и при подключении через сеть Интернет передаваться и обрабатываться в центре мониторинга. Основываясь на результатах многомесячного мониторинга, сервисный центр может своевременно отследить тенденцию к ухудшению работы крионасоса и уведомить пользователя о необходимости профилактических или сервисных работ до того, как насос потеряет свою работоспособность.

Стандартный комплект поставки крионасоса серии On-Board® включает:

• Крионасос (с модулем быстрой регенерации или сетевым модулем),
• Гелиевый компрессор,
• Две гибкие соединительные линии,
• Управляющие кабели,
• Блок дистанционного управления.

В нашей компании вы можете выбрать и купить вакуумный насос серии On-Board® компании CTI Cryogenics, узнать характеристики и подобрать модель, исходя из вашего технического задания. Актуальная цена на вакуумное оборудование предоставляется по запросу. Свяжитесь с нами любым удобным для вас способом.

ЗАПРОСИТЬ КОНСУЛЬТАЦИЮ ПОСМОТРЕТЬ КОНТАКТЫ