В этой главе представлена продукция компании CTI Cryogenics (подразделение компании Brooks Automation Inc., США), мирового лидера в производстве крионасосов, криогенных охладителей и гелиевых компрессоров. В настоящее время крионасосы этой компании занимают 80% мирового рынка (70000 единиц в эксплуатации) благодаря наилучшему соотношению качества, цены, номенклатуры и развитой технической и сервисной поддержке. История компании насчитывает более 40 лет конструкторского и производственного опыта создания криорефрижераторов и крионасосов на основе цикла Гиффорда-МакМагона.
Крионасосы сегодня широко используются в различных областях промышленности, в том числе полупроводниковой и электронной, в установках нанесения вакуумных покрытий, в производстве тонких пленок, металлургии чистых металлов, в установках термоядерного синтеза, в лабораторных установках и других высокотехнологичных приложениях, везде, где требуется чистый вакуум и высокая быстрота действия. Крионасосы имеют ряд существенных преимуществ по сравнению с другими средствами получения высокого вакуума, такие как: чистота получаемого вакуума, высокая производительность, высокая эффективность откачки водяных паров, высокое давление включения (150 - 300 Торр•л), относительно невысокая стоимость (по сравнению с насосами аналогичной производительности и чистоты получаемого вакуума).
Принцип действия крионасосов основан на явлениях конденсации и сорбции при низких температурах. На первой ступени насоса при температуре 65 - 70 К конденсируются водяные пары и "тяжелые" газы, на второй, при температуре 12 - 17 К - азот, кислород и аргон. Гелий, водород и неон удерживаются на второй ступени за счет криоадсорбции на активированном угле. Это накопительные насосы и требуют периодической регенерации при заполнении рабочей поверхности конденсатом.
Криогенные вакуумные насосы серии Cryo-Torr® надежные и выносливые высоковакуумные насосы, которые стояли у истоков и способствовали бурному развитию современной полупроводниковой промышленности в 80-е годы. Сегодня насосы Cryo-Torr® широко применяются в промышленных и лабораторных установках, где качество, надежность и невысокая цена являются основными критериями.
Насосы серии Cryo-Torr® выпускаются с присоединительным фланцем ISO диаметром от 100 до 500 мм. Они могут также изготавливаться с фланцем ConFlat в конфигурации для сверхвысоковакуумных приложений (UHV).
Компания "Криосистемы" предлагает целый ряд различных конфигурации крионасосов серии Cryo-Torr®, характеристики которых приведены ниже в таблице.
Выпускаются модели с повышенной емкостью по водороду. Мы также предлагаем полную палитру периферийного оборудования, которым Вы можете комплектовать или дополнять крионасосы Cryo-Torr® , для контроля процессов форвакуумной откачки и регенерации, включая вакуумные клапаны, нагреватели, соленоидные вентили и пр.
В нашей компании вы можете выбрать и купить вакуумный насос серии Cryo-Torr®, узнать характеристики и подобрать модель, исходя из вашего технического задания. Актуальная цена на вакуумное оборудование предоставляется по запросу. Свяжитесь с нами любым удобным для вас способом.
Крионасосы серии On-Board® компании CTI Cryogenics являются родоначальниками нового направления в области получения вакуума, продолжающегося и по сей день автоматизации и оптимизации всех режимов работы без участия оператора.
Крионасосы On-Board® также характеризуются быстрой регенерацией, которая существенно уменьшает простой оборудования между производственными циклами. Они были первыми насосами с усовершенствованным контролем температуры, для улучшения согласованности быстроты откачки и высокой производительности. Встроенная в них электроника, также впервые, дала возможность дистанционного управления и контроля насосов, расположенных в различных точках мира.
Для систем, состоящих из нескольких крионасосов серии On-Board® и соединенных в одну сеть, регенерацию предпочтительно проводить последовательно. При последовательной координированной регенерации нескольких насосов, эффективность их использования будет значительно выше, нежели, при одновременной регенерации сразу всех насосов.
Каждый крионасос On-Board® обеспечивает устойчивое поддержание уровня вакуума, даже если технологический процесс в камере протекает нестабильно. Для этого введен автоматический контроль температуры первой ступени крионасоса. В процессах напыления, в частности, при отсутствии такого контроля, температура первой ступени может опускаться до 40К. Это приводит к конденсации на ней рабочего газа - аргона, который затем выделяется при более низких давлениях и препятствует откачке других газов, что приводит к повышению давления в камере.
С целью своевременного сервисного обслуживания и ремонта, в крионасосы On-Board® интегрируют контроллеры с функцией дистанционной передачи данных о работе насоса, таких как давление, температура и др. Эти данные могут передаваться, как на локальный компьютер, так и при подключении через сеть Интернет передаваться и обрабатываться в центре мониторинга. Основываясь на результатах многомесячного мониторинга, сервисный центр может своевременно отследить тенденцию к ухудшению работы крионасоса и уведомить пользователя о необходимости профилактических или сервисных работ до того, как насос потеряет свою работоспособность.
Стандартный комплект поставки крионасоса серии On-Board® включает:
• Крионасос (с модулем быстрой регенерации или сетевым модулем),
• Гелиевый компрессор,
• Две гибкие соединительные линии,
• Управляющие кабели,
• Блок дистанционного управления.
В нашей компании вы можете выбрать и купить вакуумный насос серии On-Board® компании CTI Cryogenics, узнать характеристики и подобрать модель, исходя из вашего технического задания. Актуальная цена на вакуумное оборудование предоставляется по запросу. Свяжитесь с нами любым удобным для вас способом.
