150 мм
Средний радиус полусферического анализатора
Полусферический анализатор энергии электронов
R150X — анализатор энергии электронов для XPS
R150X — полусферический энергоанализатор со средним радиусом 150 мм, ориентированный прежде всего на рентгеновскую фотоэлектронную спектроскопию (XPS). Модель поддерживает также UPS, ISS и AES и может использоваться как центральный аналитический модуль в составе многометодной вакуумной системы.
XPS
UPS
ISS
AES
Ключевые параметры R150X
Основные значения приведены для базовой конфигурации анализатора. Опциональные режимы и расширенный энергетический диапазон следует подтверждать при формировании спецификации.
≤ 50 meV
Энергетическое разрешение FWHM при Ep = 2 eV и Ek = 9,1 eV
1–500 eV
Диапазон энергии пропускания (Pass Energy)
40 мм
Рабочее расстояние анализатора
Методы анализа
R150X рассчитан на XPS и поддерживает дополнительные методы электронной спектроскопии, что позволяет строить комбинированные аналитические конфигурации вокруг одного энергоанализатора.
Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия
Основной режим применения R150X для исследования элементного состава и химического состояния поверхности.
Ультрафиолетовая фотоэлектронная спектроскопия
Дополнительный метод для исследования электронной структуры валентной области и поверхностных состояний.
Ионно-рассеивающая спектроскопия
Может использоваться в составе соответствующей конфигурации для анализа верхнего атомного слоя поверхности.
Оже-электронная спектроскопия
Поддерживает многометодные системы, где требуется дополнительный анализ поверхности электронными методами.
Технические характеристики
Параметры исходной конфигурации R150X, использованные для текущей страницы.
| Средний радиус | 150 мм |
|---|---|
| Энергетическое разрешение | ≤ 50 meV FWHM при Ep = 2 eV, Ek = 9,1 eV |
| Угловое разрешение | ≤ 0,1° при размере пятна 0,1 мм |
| Энергия пропускания Ep | 1–500 eV |
| Электронная оптика | Пятиуровневая система линз с регулируемым напряжением |
| Режим линз | Режим передачи; режим углового разрешения — опция |
| Диапазон кинетической энергии | 0,5–1500 eV; до 3500 eV — опция |
| Режимы измерения | Фиксированный и сканирующий |
| Угол захвата | ±15° |
| Рабочее расстояние | 40 мм |
| Детектор | Микроканальная пластина (MCP), флуоресцентный экран и 2D CCD |
| Источник питания анализатора | Высокостабильный высоковольтный источник с низким уровнем пульсаций; стабильность ≤ 2 ppm |
| Щели / апертуры | 7; прямые, дуговые или круглые |
Для спецификации: угловой режим и диапазон до 3500 eV являются опциями. Перед выпуском коммерческого предложения необходимо подтвердить требуемую конфигурацию линз, детектора, апертур и источников возбуждения.
R150X как часть аналитической системы
Сам анализатор является центральным измерительным модулем. Рабочая XPS/UPS/AES/ISS-конфигурация формируется с учётом источника возбуждения, вакуумной камеры, манипулятора образца, требований к вакууму и программно-аппаратному управлению.
01
Источник возбуждения
Рентгеновский, УФ-, электронный или ионный источник — в зависимости от выбранного метода.
02
Образец и манипулятор
Позиционирование образца и геометрия измерения согласуются с рабочим расстоянием анализатора.
03
Анализатор R150X
Электронная оптика формирует и разделяет поток электронов по кинетической энергии.
04
Детектор и регистрация
MCP, флуоресцентный экран и CCD формируют измерительный сигнал для дальнейшей обработки.
Что указать для подбора конфигурации
Для R150X важно подбирать не только сам анализатор, но и его интерфейсы с существующей или проектируемой аналитической установкой.
Параметры измерений
- Основной метод: XPS, UPS, AES, ISS или комбинированная система.
- Требуемый диапазон кинетических энергий и энергии пропускания.
- Необходимость углового режима и целевое угловое разрешение.
- Типы образцов, размеры зоны анализа и требуемая геометрия измерений.
Параметры установки
- Существующая или проектируемая вакуумная камера и доступные порты.
- Источник возбуждения, манипулятор и система загрузки образцов.
- Требования к вакууму, экранированию и расположению аналитического узла.
- Необходимость интеграции, монтажа, ПНР и обучения персонала.
Связанные решения
Если задача выходит за рамки XPS-ориентированной конфигурации R150X, имеет смысл сравнить её с другими решениями семейства.
Подобрать R150X под Вашу аналитическую установку
Передайте требования к методу измерений, энергетическому диапазону, вакуумной камере и источникам. Инженеры «Криосистем» помогут определить состав анализатора и совместимых узлов для технико-коммерческого предложения.
Актуальные предложения и ключевые направления
