Интегрированная система для высокоточных исследований
Камера анализа оснащена полусферическим анализатором энергии R200, источником монохроматического ультрафиолетового света, 6-осным манипулятором, механизмом передачи образцов и другими вакуумными компонентами.
Камера анализа имеет интегрированную конструкцию: верхняя часть предназначена для перемещения образцов, средняя — для анализа, а нижняя — для вакуумной откачки. Для магнитного экранирования используется двойная структура из Мю-металла.
Камера загрузки образцов также используется для их очистки и оснащается аргоновой пушкой для очистки ионами аргона in-situ. Инжекционная камера применяется для перемещения образцов из перчаточного бокса с контролируемой атмосферой.