Фотоэлектронная спектроскопия
Анализаторы и комплексные системы для исследования электронной структуры и химического состояния поверхности материалов. В разделе представлены решения для ARPES и XPS — от отдельного полусферического энергоанализатора до интегрированной сверхвысоковакуумной системы.
На уровне хаба важно разделить три сценария: XPS-ориентированный анализатор, высокоразрешающий ARPES-анализатор и готовую комплексную ARPES-систему. Детальные характеристики приведены на страницах конкретных моделей.
Полусферический энергоанализатор с радиусом 150 мм для задач фотоэлектронной спектроскопии, прежде всего XPS, а также связанных поверхностно-аналитических методов.
Полусферический энергоанализатор с радиусом 200 мм, ориентированный на угловые измерения и высокоразрешающую ARPES-спектроскопию с возможностью работы в других фотоэлектронных режимах.
Интегрированное решение для ARPES-экспериментов, объединяющее аналитическую камеру, энергоанализатор, источники возбуждения, манипуляцию образцом и необходимую вакуумную инфраструктуру.
Конкретный набор методов определяется составом источников, электронной оптики, детектора, вакуумной камеры и вспомогательных модулей.
Для корректной конфигурации важнее не название модели само по себе, а измерительная задача и ограничения экспериментальной установки.
ARPES, XPS или многометодная система; требуемые источники возбуждения и сценарии измерений.
Требования к энергетическому и угловому разрешению, диапазону кинетических энергий и режимам линз.
Необходимость низкотемпературных измерений, тип манипулятора, число осей и требования к стабильности положения.
Базовое давление, существующая UHV-камера, насосная система, интерфейсы и допустимые габариты.
Шлюз, камеры подготовки, нагрев, очистка, in-situ операции и совместимость с держателями образцов.
ПО, сбор данных, управление источниками и приводами, межблокировки и подключение к существующей установке.
Полусферический анализатор — центральный измерительный модуль, но итоговые возможности определяются всей экспериментальной цепочкой.
Рентгеновское или ультрафиолетовое возбуждение формирует фотоэлектроны из исследуемого образца.
Позиционирование, вращение и температурный режим задают геометрию и условия эксперимента.
Электронная оптика и полусферический сектор разделяют электроны по кинетической энергии и, для ARPES, по углу.
Детектирующая система регистрирует распределение интенсивности для последующей обработки спектров.
Для аналитических систем критична совместимость компонентов. Поэтому подбор ведётся от экспериментальной задачи и конфигурации установки, а не только от паспортного разрешения анализатора.
Уточняем методы, диапазоны измерений, требования к вакууму, температуре и образцу.
Подбираем анализатор и необходимые источники, манипуляторы, вакуумные и управляющие модули.
Прорабатываем механические интерфейсы, вакуумную схему, компоновку и подключение к существующей инфраструктуре.
Организуем поставку, ввод в эксплуатацию, обучение и дальнейшее техническое сопровождение в согласованном объёме.
