Ntegra Spectra это исследовательская платформа, разработанная для проведения комплексных междисциплинарных экспериментов. Прибор позволяют исследовать морфологию, а также оптические и электрофизические характеристики широкого круга образцов с высоким пространственным разрешением. Система обеспечивает работу методов атомно-силовой микроскопии одновременно с реализацией методик конфокальной Рамановской микроскопии \спектроскопии, конфокальной лазерной и флуоресцентной микроскопии, а также комбинированных техник, таких как TERS, SNOM.
Оптическая микроспектроскопия
NTEGRA Spectra в базовом варианте представляет собой конфокальный лазерный, рамановский и фотолюминесцентный микроскоп. Прибор обеспечивает визуализацию образца, фокусировку возбуждающего лазера на образец и сбор излучения эмиссии от образца. В микро-режиме съемка с картированием может осуществляться перемещением образца и/ или перемещением фокуса лазера посредством гальвано-зеркал.
Система в базовой конфигурации позволяет решать следующие экспериментальные задачи:
- оптическое изображение образца в белом светес полным функционалом прямого либо инвертированного оптического микроскопа и высоким разрешением;
- 2D изображение поверхности образца в режимелазерной конфокальной микроскопии;
- 3D послойное оптическое изображение прозрачного образца в режиме лазерной конфокальноймикроскопии;
- поточечное спектральное 2D и 3D картированиесигнала комбинационного рассеяния (рамановского рассеяния);
- поточечное спектральное 2D и 3D картированиесигнала фотолюминесценции;
- время-разрешённые измерения карт фотолюминесценции;
- измерения спектров, картирование, и построениеизображения образца с контролем поляризациипадающего и собираемого излучения.
СЗМ + оптическая микроспектроскопия
NTEGRA Spectra в расширенном варианте «зондовая микроскопия + оптическая микроспектроскопия» позволяет проводить измерения по отдельности методами СЗМ, конфокальной микроскопии, рамановской и фотолюминесцентной микроспектроскопии, а также исследовать один и тот же образец комбинированно и одновременно вышеуказанными методами, со сканированием образцом и/ или зондом и/ или фокусом лазера, с построением колокализованных карт любых собираемых сигналов, поточечно привязанных друг к другу.
Система в расширенной конфигурации позволяет решать следующие экспериментальные задачи, дополнительно к базовому варианту:
- с нанометровым разрешением проводить измерения топографии и морфологии поверхности образца, а также его электрических, магнитных, механических и других локальных свойств методамиатомно-силовой микроскопии;
- с нанометровым разрешением проводить измерения поверхности образца методами сканирующейтуннельной микроскопии;
- реализовать с нанометровым разрешением измерения различных оптических характеристик поверхности образца методами сканирующей ближнепольной оптической микроскопии, апертурнойи безапертурной;
- реализовать оптические/ спектральные измеренияс использованием различных эффектов волновойоптики, в частности, в режимах зондово-усиленнойрамановской и фотолюминесцентной спектроскопии (TERS/ TEPL), поточечно локально и с построением оптических спектральных карт, с пространственным разрешением < 10 нм.

Благодаря зондово усиленному рамановскому рассеянию (Tip Enhanced Raman Scattering, TERS) SPECTRA позволяет проводить спектроскопию/микроскопию с нанометровым пространственным разрешением. В TERS используются специальные кантилеверы, покрытые серебром или золотом, для локализации и усиления излучения в области острия кантилевера. Такие кантилеверы действуют как “наноусилители”, предоставляя возможность получения оптического изображения с пространственным оптическим разрешением выше дифракционного предела (до ~15 нм).
Схема зондово-усиленного Рамана – TERS (а), усиление Рамановского сигнала зондом (б), Рамановскоое изображение (в) и TERS изображение (г).
Флуоресценция отдельных NV-дефектов в одиночных детонационных наноалмазах
Таким образом, разрешение по плоскости при картировании АСМ/Раман не ограничено дифракционным пределом и может достигать значений меньше, чем 15 нм. Даже одиночные молекулы могут быть обнаружены и идентифицированы в соответствии с их спектром.
Реализованные в NTEGRA Spectra три канала системы ввода/вывода излучения позволяют заводить на образец инициирующее лазерное излучение и собирать сигналэмиссии сверху, сбоку, а также снизу. Все три оптических канала системы могут быть установлены как по отдельности, так и одновременно.
Одновременные исследования методами АСМ/Раман.
SPECTRA поддерживает большинство существующих на сегодняшний день АСМ методов (более 30), позволяющих проводить исследования с нанометровым разрешением. Таким образом, использование SPECTRA позволяет получить информацию о многочисленных поверхностных свойствах образца. Оператору доступна информация о рельефе, намагниченности, электрическом потенциале, работе выхода, силе трения, пьезоотклике, упругости, емкости, току растекания и многие другие.
Возможность одновременного АСМ/Раман исследования одного и того же участка образца открывает новые возможности. В частности, позволяет получить данные о химическом составе, кристаллической структуре, присутствии примесей и дефектов, формы макромолекул и пр.. Полный рамановский спектр регистрируется в каждой точке исследуемого образца одновременно с получением АСМ изображения. Благодаря высокому качеству оптической системы двух- и трехмерные распределения спектральных характеристик образца могут быть изучены с пространственным разрешением, близким к теоретическому пределу.
Получение информации об одной и той же области образца методами АСМ и Рамановской микроскопии
Изучение поверхностных плазмонных эффектов

АСМ/СТМ: интеграция с оптической спектроскопией*
- Upright и Inverted оптические АСМ конфигурации (оптимизированные для непрозрачных и прозрачных образцов соответственно);
- Возможность боковой засветки
- Максимально возможное значение числовых апертур оптики используемой одновременно с АСМ: 0.7 NA для Upright, 1.3–1.4 NA для Inverted
- АСМ/СТМ и конфокальная рамановская/флуоресцентная микроскопия и спектроскопия
- Поддерживаются все стандартные СЗМ методики (более 30) — в комбинации с конфокальной рамановской/флуоресцентной микроскопией и спектроскопией
- Низкий шум при АСМ/СТМ измерениях (атомарное разрешение)
- Вибрационные и термо дрейфы минимизированы за счет специальной конструкции и материалов используемых в АСМ оптической головке
- Поддержка постоянного фокуса: образец всегда находится в фокусе при помощи АСМ-обратной связи по Z; возможность получения высококачественного конфокального изображения неровных и/или наклонных образцов
- АСМ/Раман измерения могут выполнятся в воздухе, в контролируемой атмосфере и в жидкости – во всех случаях возможен контроль температуры
|
Конфокальная Рамановская/Флуоресцентная микроскопия*
- Конфокальная рамановская/флуоресцентная/релеевская микроскопия одновременно с АСМ
- Предел оптического разрешения: 200 нм XY, 500 нм Z (с иммерсионным объективом)
- Конфокальная схема; программный контроль конфокального пинхола (щели) для оптимального сигнала и конфокальности
- Моторизованный расширитель лазерного пучка/коллиматор: позволяет осуществлять индивидуальные настройки формирования луча для различных лазеров и объективов
- 3D (XYZ) конфокальное сканирование и мощный программный пакет обработки изображений
- Гиперспектральное картирование (запись полного рамановского спектра в каждой точке 1D, 2D или 3D конфокального скана) с последующим программным анализом
- Оптическая литография (векторная, растровая)
|
|
Сканирующая ближнепольная микроскопия (СБОМ)*
- Поддерживаются две основные СБОМ методики: на основе использования кварцевого оптоволокна и на основе апертурного кремниевого кантилевера
- Поддерживаются режимы: Пропускание, Отражение, Сбор
- Детектируются СБОМ сигналы: интенсивность излучения, флуоресценция, спектроскопия
- СБОМ литография (векторная и растровая)
|
Спектроскопия*
- Высокоэффективный спектрометр с фокусным расстоянием 520мм и 4 моторизованными решетками
- Видимый, УФ и ИК спектральные диапазоны
- Решетка Эшелле для свервысокого спектрального разрешения: 0.007 нм (< 0.1 1/см)
- До 3 различных детектеров могут быть установлены единовременно
- Охлаждаемая до -100 ºC ПЗС камера. EMCCD камера доступна опционально — для ультрабыстрых процессов
- ФЭУ или лавинный фотодиод доступны в качестве детектеров
- Моторизованный поляризатор в каналах возбуждения и детектирования
- Полностью автоматическое-моторизованное переключение между лазерами, включая перестройку всего спектрометра (решеток, фильтров, системы формирования и регистрации излучения)
|
|
Зондово-усиленная рамановская микроскопия (TERS, S-SNOM, SNIM, TEFS, STM-LE etc.)
- Поддержка всех существующих TERS геометрий: засветка/сбор снизу, сверху и сбоку
- Различные АСМ режимы и TERS зонды могут быть использованы: СТМ, АСМ кантилеверы, оптоволоконные зонды
- Dual scan (для режима Hot Point картирование TERS): сканирование образцом и сканирование зондом / лазером
- Моторизованный поляризатор для получения оптимальной поляризации света для TERS
|
Программное обеспечение
- Программная интеграция АСМ и РАман измерений; все АСМ/Раман/СБОМ эксперименты и последующий анализ изображений выполняются в едином программном обеспечении
- Мощная математическая программная обработка 1D, 2D и 3D гиперспектральных изображений
- Выгрузка данных в удобном формате (Excel, MatLab, Cytospec etc.)
|
* Некоторые режимы измерений являются опциональными и могут быть не включены в базовую конфигурацию
Примеры применения: Физика, Химия и Материаловедение
|
| Общая физика, физика твердого тела |
- Изучение поверхности объектов со сверхвысоким разрешением
- Изучение распределения напряжений, дислокаций
- Исследование углеродных наноматериалов (структура, электрические, микромеханические и другие свойства)
- Обнаружение микропримесей веществ
- Изучение распределения на поверхности потенциала, электропроводимости, теплопроводимости и др
- Магнетизм, визуализация магнитных доменов
и др. |
| Минералогия |
- Драгоценные камни и материалы
- Контроль качества роста
|
| Кристаллография |
- Исследование дефектов и нарушения структуры в кристаллах
- Контроль кристаллографических поверхностей
|
| Кинетика |
- Исследование термической зависимости
- Исследование фазовых состояний вещества
|
| Фармацевтика |
- Контроль производства таблетированных форм и кремов
- Исследование взаимодействия
|
| Электрохимия |
- Изучение динамики поверхностных процессов
- Контроль за осаждением на поверхность и окислением поверхностей
- Визуализация адсорбированных молекул и разного рода осадков
|
| Экология и промышленная безопасность |
- Изучение химических примесей
- Изучение изношенности конструкционных материалов
|
| Другие области |
- Технический контроль в производстве
- Определение отдельных химических связей и групп в молекулах
- Исследование внутри и межмолекулярных связей
- Криминалистика
- Таможенная экспертиза
- Наноманипуляции
|