Лазерная литография
Безмасковая лазерная литография
| Генератор шаблонов | 0,65″ DMD (1920×1080 пикс.) |
|---|---|
| Световой поток | 4 Вт |
| Длина волны | 365 / 385 / 405 нм |
| Интенсивность | до 1,3 Вт/см² |
| Равномерность экспозиции | >90% |
| Камера | CMOS-сенсор 1/1,8″ |
| Интерфейсы | USB 2.0, HDMI |
| Питание | 110–220 В, 60 Вт |
| Поддерживаемые ОС | Windows 10/11 |
Лазерный литограф Litho MaskLess (Ю.Корея) – это система безмасковой литографии, использующая технологию динамических масок на основе DMD зеркал (Digital Mirror Device) диагональю 0,65 дюйма производства Texas Instruments. Литограф Litho MaskLess интегрирован с оптическим микроскопом, прибор поддерживает работу с различными типами фоторезистов и подложек. Он позволяет создавать 2D- и 2.5D-структуры с микронным разрешением без применения традиционных жестких масок.
Высокое пространственное разрешение: до 560 нм.
Мощный источник света: интенсивное УФ-излучение.
Доступные длины волн литографии: 365 нм, 385 нм, 405 нм.
Гибкость экспонирования: бинарные или градационные шаблоны.
Поддержка формата PNG: загрузка изображений напрямую.
Точное позиционирование: система EasyAlign с камерой для совмещения шаблонов.
Совместимость с микроскопами: микроскопы Olympus, Nikon, Thorlabs.
ИИ-оптимизация: технология AIUniBeam для равномерного распределения пучка.
Искусственный интеллект анализирует распределение интенсивности пучка литографа и корректирует яркость каждого пикселя в реальном времени, обеспечивая равномерность экспонирования свыше 90%.
 |
 |
|
Без корректировки |
С технологией AIUniBeam |
Программное обеспечение литографа накладывает виртуальный шаблон на изображение с камеры микроскопа, что позволяет точно совмещать структуры и моделировать результат до экспонирования.
Olympus: серия BX
Nikon: серия Eclipse
Thorlabs: серия Cerna
Максимальные размеры области при проведении литографии в зависимости от объектива микроскопа
| Объектив | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
|---|---|---|---|---|---|
| Числовая апертура (NA) | 0,15 | 0,3 | 0,4 | 0,6 | 0,8 |
| Размер области (мкм) | 2903×1633 | 1452×816 | 726×408 | 290×163 | 145×82 |
| Минимальный размер элемента (мкм)* | 3,29 | 1,65 | 1,24 | 0,82 | 0,62 |
Лазерный литограф Litho Maskless представлен в демонстрационной лаборатории нашей компании. Вы можете ознакомиться с работой лазерного безмаскового литографа в действии и оценить его ключевые преимущества на практике. Оставьте заявку и мы свяжемся с Вами!
В запросе укажите Лазерный литограф Litho MaskLess. Укажите материал и размер подложки, минимальный элемент рисунка, резист и требования к совмещению слоёв.
