Наноимпринтный литограф NIL-150/200

• Разрешение (≤5 нм);
• Максимальный размер образца – 6 дюймов / 8 дюймов (150/200мм);
• Полностью автоматизированная печать;
• Промышленное исполнение;
• Подходит как для небольших лабораторий, так и для мелкосерийного производства.

Наноимпринтная литография (НИЛ) включает в себя множество технологий импринтинга, которые широко используются в производстве полупроводников, МЭМС (MEMS), биочипов, биомедицине и других областях.

Основная идея НИЛ (NIL) – передать изображение на соответствующую подложку через шаблон. Среда переноса обычно представляет собой очень тонкую полимерную пленку, структура которой упрочняется горячим прессованием или облучением для сохранения перенесенного изображения. NIL можно разделить на горячее тиснение, ультрафиолетовое отверждение и микроконтактную печать (μCP) в соответствии с различными методами проведения наноимпринт литографии.

Основные особенности установки:

• Разрешение (≤5 нм);
• Максимальный размер образца – 6 дюймов / 8 дюймов (150/200мм);
• Полностью автоматизированная печать;
• Промышленное исполнение;
• Подходит как для небольших лабораторий, так и для мелкосерийного производства.