Установка CVD для Российского Квантового центра
Завершение сборки и тестирования программы управления установки химического-пароосаждения (CVD) для осаждения структур типа Висмут-Теллур
Фото установки
Фото блока управления
Краткая спецификация:
Рабочая труба (реактор) Ø60 мм х ~1200/1300 мм
2 входных линий подачи газа с индивидуальным контролем потока каждой линии для Аргона и водорода
Блок управления вакуумом и давлением
- Термопарный вакуумный датчик
- Емкостной датчик
- Дроссельный клапан автоматического типа
- Контроллер газовый
- Пластинчато-роторный насос
- Ловушка на входе в насос
Стадия нагрева:
- 3-х зонная внешняя резистивная печь
- 3 х термопары (по одной на зону нагрева) в печи
Решаем инженерные задачи и поставляем оборудование
Понимаем специфику научных, промышленных и государственных заказчиков.
Работаем под ТЗ, ГОСТ и индивидуальные требования.