Проект ГК «Криосистемы»

Установка CVD для Российского Квантового центра

Завершение сборки и тестирования программы управления установки химического пароосаждения CVD для осаждения структур типа висмут-теллур.

Посмотреть контакты
Установка CVD для Российского Квантового центра
Фото установки CVD

Задача и исполнение

Исходные формулировки сохранены по смыслу: задача заказчика, модель установки, назначение и конфигурация оборудования.

Задача, поставленная заказчиком

Синтез Bi/Te-структур из газовой фазы методом термического испарения материалов из твердотельных источников.

Каждый твердотельный источник и подложка, на которую осаждаются испаренные вещества, должны иметь независимую температуру нагрева.

Расстояние «источник-подложка» нужно изменять в заданных пределах. Подложка должна иметь возможность изменения угла наклона.

Производитель и конфигурация

Установка модели CVDLab HWR60_AUTO, сконфигурированная для синтеза углеродных наноструктур при пониженном и повышенном давлении, была полностью разработана и собрана в компании «Криосистемы».

CVD химическое пароосаждение для осаждения структур типа Bi/Te
HWR60 модель установки CVDLab HWR60_AUTO
Ø60 мм диаметр рабочей трубы реактора
3 зоны внешняя резистивная печь с термопарами по зонам нагрева

Фотографии установки и блока управления

В блок перенесены обе проектные фотографии из исходной страницы, включая изображения, заданные в Bitrix24 как фоновые блоки.

Установка CVD для Российского Квантового центра
Фото установки
Блок управления установки CVD для Российского Квантового центра
Фото блока управления
Вакуумное оборудование установки CVD
Оборудование рядом со спецификацией установки

Краткая спецификация

Список компонентов и характеристик сохранён из исходной страницы и оформлен в компактные инженерные карточки.

Вакуумное оборудование установки CVD
Вакуумное оборудование в составе проекта

Рабочая труба

Рабочая труба, реактор: Ø60 мм × ~1200/1300 мм.

Подача газа

2 входных линии подачи газа с индивидуальным контролем потока каждой линии для аргона и водорода.

Блок управления вакуумом и давлением

  • Термопарный вакуумный датчик.
  • Емкостной датчик.
  • Дроссельный клапан автоматического типа.
  • Контроллер газовый.
  • Пластинчато-роторный насос.
  • Ловушка на входе в насос.

Стадия нагрева

  • 3-зонная внешняя резистивная печь.
  • 3 термопары, по одной на зону нагрева в печи.

Решаем инженерные задачи и поставляем оборудование

Понимаем специфику научных, промышленных и государственных заказчиков. Работаем под ТЗ, ГОСТ и индивидуальные требования.

Оснащение лабораторий и НИИ

Комплектуем научные центры, университеты и исследовательские лаборатории оборудованием для проведения физических и инженерных экспериментов.

Поставка по техническому заданию

Работаем строго по ТЗ заказчика. Подбираем оборудование с учётом условий, ограничений и требований к совместимости.

Участие в тендерах и госконтрактах

Есть опыт поставок по 44-ФЗ и 223-ФЗ. Готовим комплект документации, обеспечиваем соответствие требованиям ГОСТ и сопровождение сделки.

Модернизация систем

Обновляем устаревшие участки вакуумных и криогенных линий. Предлагаем решения, совместимые с действующей инфраструктурой.

Импортозамещение и поиск аналогов

Подбираем качественные альтернативы зарубежным компонентам. Работаем с проверенными российскими и азиатскими производителями.

Интеграция оборудования в проект

Участвуем на этапе проектирования. Предлагаем решения с учётом габаритов, интерфейсов, среды эксплуатации и инженерной логики системы.

Как начинается проект CVD-установки

Для таких задач важно заранее связать материал синтеза, газовую среду, температурные зоны, вакуум и механику позиционирования источников и подложки.

Технологическая задача

Фиксируются структуры для синтеза, материалы источников, требования к подложке, диапазоны давления и газовая среда.

Состав установки

Определяются реактор, печь, газовые линии, вакуумные датчики, насос, клапаны, контроллеры и блок управления.

Сборка и программа

Установка собирается, конфигурируется, проверяется механика, нагрев, вакуум и программа управления процессом.

Тестирование и передача

Проводятся испытания, проверка режимов, настройка алгоритмов и передача оборудования для работы в лаборатории.

Нужна установка под CVD-процесс?

Опишите материалы, газовую среду, требования к нагреву, давлению и управлению. Инженеры ГК «Криосистемы» помогут определить состав установки под техническую задачу.

Посмотреть контакты
Cookie-файлы
Настройка cookie-файлов
Детальная информация о целях обработки данных и поставщиках, которые мы используем на наших сайтах
Аналитические Cookie-файлы Отключить все
Технические Cookie-файлы
Другие Cookie-файлы
Мы используем файлы Cookie для улучшения работы, персонализации и повышения удобства пользования нашим сайтом. Продолжая посещать сайт, вы соглашаетесь на использование нами файлов Cookie. Подробнее о нашей политике в отношении Cookie.
Понятно Подробнее
Cookies