Вакуумные печи
Для высоковакуумной ступени откачки печи согласуют требуемое давление, объём камеры, газовыделение при нагреве и длительность цикла. Отдельно учитывают тепловое воздействие на насос и условия его охлаждения.
Agilent Technologies · Италия
Турбомолекулярный насос T‑V 301
G3850‑80030 · с контроллером Navigator Controller
Комплект для высоковакуумной откачки: насос с присоединением ISO 100, сетевой контроллер и соединительный кабель. Быстрота действия по азоту — 250 л/с; управление — через интерфейс RS‑232.
Для вакуумных печей и установок нанесения покрытий на инструменты. Подбор выполняется с учётом рабочей среды, газовой нагрузки и параметров форвакуумной ступени.
250 л/сбыстрота действия по N₂
ISO 100входное присоединение
RS‑232интерфейс контроллера
Воздушноеохлаждение насоса
Насос, контроллер и вакуумная система
Высоковакуумная ступень и её электронный привод выполняют разные задачи. Для работы с камерой также подбирается форвакуумное оборудование.
T‑V 301 сочетает турбомолекулярные ступени и молекулярную ступень MacroTorr. Асинхронный двигатель приводит ротор; охлаждающие рёбра корпуса отводят тепло при воздушном охлаждении.
Navigator Controller формирует питание двигателя: 75 В переменного тока, три фазы, выходная частота 963 Гц. Контроллер подключается к однофазной сети и обеспечивает связь с системой управления через RS‑232.
В составе установки согласуют присоединение к камере, форвакуумную линию, охлаждение и управление. Номинальная быстрота насоса не равна эффективной быстроте откачки камеры: на результат влияют трубопроводы, арматура и газовая нагрузка.
Вакуумная камераПроцесс и газовая нагрузка
T‑V 301Высоковакуумная ступень
Форвакуумный насосПодбирается к режиму работы
Технические характеристики
Параметры насоса приведены для исполнения ISO 100. Электрические характеристики относятся к сетевому Navigator Controller 120/220 В.
На узком экране таблицы можно прокручивать по горизонтали.
| Модель | T‑V 301 |
|---|---|
| Обозначение комплекта | G3850‑80030 |
| Каталожный номер насоса | 9698918 |
| Тип | Промышленный турбомолекулярный насос |
| Входное присоединение | ISO 100 |
| Быстрота действия по азоту N₂ | 250 л/с |
| Быстрота действия по гелию He | 220 л/с |
| Быстрота действия по водороду H₂ | 200 л/с |
| Предельное давление с DS 102* | < 5 × 10−10 мбар |
| Предельное давление с SH‑100* | < 5 × 10−9 мбар |
| Частота вращения ротора | 56 000 об/мин |
| Охлаждение | Воздушное |
| Тип двигателя | Асинхронный |
| Масса насоса | 4,2 кг |
| Модель | T‑V 301 Navigator Controller |
|---|---|
| Каталожный номер комплектации | 9698973M015 |
| Интерфейс | RS‑232 |
| Входное напряжение | 100 / 120 / 220 / 240 В переменного тока |
| Питающая сеть | 1 фаза, 50/60 Гц |
| Максимальная входная полная мощность | 300 ВА |
| Выходное напряжение | 75 В переменного тока, 3 фазы |
| Выходная частота | 963 Гц |
| Номинальная мощность | 150 Вт |
| Пусковая мощность | 150 Вт |
| Рабочая температура | От 0 до +40 °C |
| Температура хранения | От −20 до +70 °C |
Применение в технологических установках
При подборе оценивают режим откачки и условия процесса, а также совместимость насоса с рабочей средой.
Нанесение покрытий на инструменты
Для установки нанесения покрытий задают состав и расход технологических газов, базовое и рабочее давление, длительность процесса. Наличие паров, частиц и реакционноспособных компонентов учитывают при выборе исполнения и защиты насоса.
Комплект поставки и согласование подключения
В конфигурацию G3850‑80030 входят насос, контроллер и один кабель их соединения. Оборудование вакуумной установки согласуется отдельно.
- Турбомолекулярный насосT‑V 301, ISO 100 · каталожный номер 9698918
- Сетевой контроллерT‑V 301 Navigator Controller, RS‑232 · 9698973M015
- Соединительный кабель1 шт. · для подключения контроллера к насосу
Что согласовать для установки
- Форвакуумный насос и параметры соединительной линии.
- Ответный фланец, уплотнение и крепление ISO 100.
- Организацию воздушного охлаждения и пространство вокруг корпуса.
- Сетевое подключение и кабель связи RS‑232.
- Необходимость входного экрана, напуска и защиты от загрязнений.
Данные для подбора и коммерческого предложения
- Процесс, состав газов и максимальная газовая нагрузка.
- Объём камеры, требуемое давление и время откачки.
- Модель форвакуумного насоса и схема трубопроводов.
- Присоединения, монтажное пространство и условия охлаждения.
- Параметры электросети и требования к управлению.
- Для замены — фото шильдиков насоса и контроллера, маркировка кабеля.
Вопросы при подборе T‑V 301
Почему быстрота действия по азоту, гелию и водороду различается?
Быстрота действия зависит от вида газа. Для T‑V 301 ISO 100 значения составляют 250 л/с по N₂, 220 л/с по He и 200 л/с по H₂. Для смеси газов и конкретного режима процесса подбор выполняют с учётом состава и расхода.
Можно ли использовать T‑V 301 без форвакуумного насоса?
При построении откачной системы предусматривают форвакуумную ступень. Её подбирают по газовой нагрузке и допустимому давлению на выходе турбомолекулярного насоса. Форвакуумный насос согласуется отдельно от перечисленного комплекта G3850‑80030.
Что означают 300 ВА и 150 Вт в характеристиках?
300 ВА — максимальная входная полная мощность сетевого Navigator Controller. Номинальная и пусковая мощность указаны как 150 Вт. Эти величины характеризуют разные электрические параметры; 300 ВА не следует указывать как механическую мощность двигателя.
Достаточно ли названия T‑V 301 для замены насоса?
Для замены сопоставляют полный каталожный номер, присоединение, контроллер, кабель и условия эксплуатации. Для рассматриваемой конфигурации указаны насос 9698918 и контроллер 9698973M015. Фото шильдиков и схема подключения помогут согласовать состав замены.
Подобрать T‑V 301 для вашей установки
Пришлите параметры процесса или маркировку установленного оборудования. Инженер «Криосистемы» рассмотрит конфигурацию насоса, контроллера и форвакуумной ступени для подготовки коммерческого предложения.
Насос относится к промышленным турбомолекулярным насосам с воздушным охлаждением. Указано применение: вакуумные печи и установки нанесения покрытий на инструменты.
Актуальные предложения и ключевые направления
