Серия PFC

КРИОНАСОСЫ ДЛЯ ОТКАЧКИ ПАРОВ ВОДЫ

СЕРИЯ PFC

Насосы серии PFC предназначены для быстрого цикла криооткачки водяного пара. Увеличивают производительность существующей системы вакуумной откачки от 20 до 100% и улучшают качество наносимых покрытий.

Преимущества крионасосов PFC:

сокращение времени достижения высокого вакуума на 25 - 75%;
быстрота действия по парам воды: от 50'000 до 200'000 л/сек;
увеличение выхода готового продукта от 20 до 100%;
типичный срок окупаемости менее 1 года;
более низкое парциальное давление водяного пара для достижения более высокого качества пленок, лучшая адгезия и большая воспроизводимость напыления;
лучшее соотношение цена/производительность по сравнению со змеевиками, охлаждаемыми жидким азотом (типа Meissner).

Крионасосы PFC являются наиболее выгодными по цене средствами откачки, которые можно добавить к любой вакуумной системе, откачиваемой диффузионными, турбо или стандартными криогенными насосами. Блок управления позволяет управлять насосом непосредственно с панели или дистанционно.

Крионасосы PFC производятся в различных исполнениях. Имеются модели, управляющие двумя криозмеевиками или сочетанием криозмеевика и криоловушки. Для камеры, откачиваемой диффузионным насосом, добавление одной модели PFC/P обеспечивает захолаживание криоловушки для контроля обратного потока масла и одновременное увеличение скорости откачки водяного пара в камере.

Крионасос PFC откачивает водяной пар за несколько минут после старта и может быть отогрет менее чем за 7 минут, обеспечивая высокоскоростной цикл. Для вашего производства это означает большее число рабочих циклов за смену. Время откачки обычно сокращается на 25 - 75%, производительность возрастает на 20 - 100%.

Используя запатентованный компанией Поликолд процесс криогенного вымораживания, крионасос PFC конденсирует водяной пар на охлаждаемой до криотемператур поверхности, например, криозмеевике. Криозмеевик крепится непосредственно в рабочей камере, поэтому эффективная скорость откачки крионасоса не ограничивается затворами, клапанами, трубопроводами, экранами и т. д. Криозмеевик легко устанавливается в рабочую камеру любой конфигурации. Для его работы не требуется высоковакуумный затвор

Как выбрать размер крионасоса PFC для конкретной вакуумной камеры?

Размеры крионасоса зависят от требуемой скорости откачки водяного пара и от объема вакуумной камеры, в которой может быть установлен криозмеевик. Чем больше криозмеевик, тем выше скорость откачки. Для сокращения времени откачки на 2575% мы рекомендуем увеличить общую скорость откачки паров воды в четыре раза по сравнению с эффективной скоростью уже имеющихся средств. Исходя из этих соображений, предварительно выбирается модель крионасоса и площадь поверхности криозмеевика. Окончательный выбор зависит от требуемой температуры, холодопроизводительности насоса и наличия дополнительных источников тепловой нагрузки (длинные линии захолаживания, тепловыделения рабочего процесса, и т.д.)

СЕРИЯ PFC

Основные компоненты крионасоса

1. Криозмеевик

Конструируется для установки в конкретной вакуумной камере на основе данной заказчиком информации, или может быть сконструирован заказчиком самостоятельно. Обычные крио змеевики имеют простые формы в виде спирали, серпантина и др. Мы не рекомендуем использовать криопанели, поскольку они замедляют процесс захолаживания / отогрева изза большой массы и неэффективной работы одной из сторон панели, обращенной к стенке вакуумной камеры.

2. Холодный вакуумный ввод

Стандартный холодный ввод обеспечивает тепловую изоляцию между трубками входа/выхода хладагента и вакуумным уплотнением. При установке холодного ввода для двух трубок (вход/выход) требуется отверстие диаметром 25 или 51 мм (два дюйма) в вакуумной камере.

3. Холодные линии подачи/возврата хладагента

Предназначены для соединения крионасоса и холодного ввода и изготовлены из медных трубок с фитингами из нержа веющей стали. Длина стандартных линий составляет 2,5 м. Более длинные линии изготавливаются на заказ.

Полезная информация для выбора соответствующей модели:

Тепловая нагрузка на криозмеевик за счет излучения (при температуре окружающей среды 25 ОС) 376,6 Вт/м2
Тепловая нагрузка на холодные соединительные линии 26,3 Вт/м,
Тепловая нагрузка на линии с вакуумной изоляцией 1,0 Вт/м,
Скорость откачки водяного пара (теоретическая) 149 000 л/с/м2
При охлаждении змеевика жидким азотом расход составил бы 45 (Вт/литр/час).

Какова оптимальная температура для эффективной откачки водяного пара?

Для нахождения температуры криоповерхности, оптимальной для вашей вакуумной системы, найдите максимальное основное давление вашей системы из приведенной ниже таблицы. Затем двигайтесь вправо, где указана необходимая температура криоповерхности. Эта температура обеспечивает 90% эффективности откачки водяного пара.

СЕРИЯ PFC

Конфигурации моделей PFC

1. Стандартный вариант PFC

заводская заправка охладителем
электронный контроль для остановки отогрева
модуль ручного управления
разъем для подключения дистанционного управления
интерфейс ~ 24B (изолированный интерфейс по запросу).

2. Комбинация опций PFC и P

включает все стандартные функции PFC
модель PFC/P обычно используется для обеспечения температурного цикла (охлаждение / отогрев) встраиваемого криозмеевика и постоянного охлаждения холодной ловушки. Криозмеевик может находиться в режиме охлаждения или отогрева, в то время как ловушка остается всегда холодной. Общая холодопроизводительность крионасоса может быть распределена в пропорциях 1/2:1/2 или 2/3:1/3 между двумя контурами.

Примечание: (1) Когда один криозмеевик находится в циклическом режиме, температура ловушки или другого криозмеевика может изменяться от 1 до 10 градусов.

3. Комбинация опций PFC и PFC (многоцелевая)

включает все стандартные функции PFC
две криоповерхности (это могут быть два криозмеевика, или змеевик и ловушка, или две ловушки) могут охлаждаться или отогреваться независимо. Общая холодопроизводительность крионасоса может быть распределена в пропорциях 1/2:1/2 или 2/3:1/3 между двумя контурами.

Примечание: (1) Когда один криозмеевик находится в циклическом режиме, температура ловушки или другого криозмеевика может изменяться от 5 до 10 градусов.

В нашей компании вы можете выбрать и купить крионасос для откачки паров воды, узнать характеристики и подобрать модель, исходя из вашего технического задания. Актуальная цена на вакуумное оборудование предоставляется по запросу. Свяжитесь с нами любым удобным для вас способом.

ЗАПРОСИТЬ КОНСУЛЬТАЦИЮ ПОСМОТРЕТЬ КОНТАКТЫ