Перейти к содержимому
Крионасосы для откачки паров воды

Серия On-Board Waterpumps

Серия насосов On-Board Waterpumps – высокопроизводительные вакуумные насосы, увеличивающие скорость откачки водяных паров для значительного увеличения производительности системы и обеспечения лучших результатов техпроцессов.

Как правило, такими ловушками снабжают турбомолекулярные насосы, откачивающие газовые смеси, содержащие пары воды. Труднооткачиваемые пары воды вымерзают на криопанелях ловушки, а неконденсированные газы, такие как азот, аргон и др., откачиваются турбомолекулярным насосом.

800–16 000 л/с Скорость откачки паров воды
Проходной крионасос On-Board Waterpumps
Серия On-Board Waterpumps

Исполнения крионасосов

Проходной насос On-Board Waterpumps
01 / ПРОХОДНОЕ ИСПОЛНЕНИЕ Серия On-Board Waterpumps

Проходные насосы On-Board Waterpumps

Устанавливаются с турбомолекулярным или диффузионным насосом для увеличения скорости откачки паров воды, а также в качестве альтернативы охлаждаемой ловушке. Криопанель в виде полой трубы максимизирует проводимость между камерой и насосом.

Торцевой насос On-Board Waterpumps
02 / ТОРЦЕВОЕ ИСПОЛНЕНИЕ Серия On-Board Waterpumps

Торцевые насосы On-Board Waterpumps

Устанавливаются на технологические или загрузочные камеры, либо в качестве бустерного насоса для больших камер с большим количеством водяных паров. Включает встроенный продувочный клапан и термопарный датчик для автоматической работы со встроенным контроллером.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Характеристики проходных и торцевых насосов On-Board Waterpumps

Диаметр входного фланца, скорость откачки паров воды, проводимость по азоту и вес оборудования.

Таблица характеристик проходных и торцевых насосов On-Board Waterpumps
Низкопрофильные проходные насосы On-Board Waterpumps
03 / НИЗКОПРОФИЛЬНОЕ ИСПОЛНЕНИЕ Серия On-Board Waterpumps

Низкопрофильные проходные насосы On-Board Waterpumps

Увеличивают скорость откачки паров воды в установках с турбомолекулярным насосом, при малых габаритах и простоте встраивания в систему.

ОБОРУДОВАНИЕ

Низкопрофильные проходные насосы On-Board Waterpumps

Увеличивают скорость откачки паров воды в установках с турбомолекулярным насосом, при малых габаритах и простоте встраивания в систему.

Оборудование серии On-Board Waterpumps — низкопрофильное исполнение
Серия On-Board Waterpumps

Внутрикамерные "In Situ" насосы On-Board Waterpumps

Предназначены для установки в технологические, передаточные или загрузочные камеры. Обеспечивают наибольшую скорость откачки водяных паров благодаря большой площади поверхности.

Характеристики внутрикамерных "In Situ" насосов On-Board Waterpumps

Для моделей внутрикамерных насосов скорость откачки пропорциональна площади фронтальной поверхности криопанели с коэффициентом 14,88 л/с/см².

К примеру, производительность 14400л/с может быть получена с криопанелью размерами 25,4 х 38,1 см.

Внутрикамерный насос In Situ On-Board Waterpumps

Подбор оборудования и консультация

В нашей компании вы можете выбрать и купить крионасос для откачки паров воды, узнать характеристики и подобрать модель, исходя из вашего технического задания. Актуальная цена на вакуумное оборудование предоставляется по запросу. Свяжитесь с нами любым удобным для вас способом.

ПОСМОТРЕТЬ КОНТАКТЫ
Мы используем файлы Cookie для улучшения работы, персонализации и повышения удобства пользования нашим сайтом. Продолжая посещать сайт, вы соглашаетесь на использование нами файлов Cookie.