Сокращение времени достижения высокого вакуума на 25–75%.
Крионасосы для откачки паров воды
Серия MaxCool
Крионасосы MaxCool производства Polycold – криогенные системы охлаждения с замкнутым циклом, обеспечивающие до 2500 Вт либо 4000 Вт (в зависимости от модели) отводимой мощности. Предназначены для откачки паров воды и других конденсирующихся сред намораживанием их на криоповерхность, к примеру, криозмеевик или криоловушку. Крионасосы MaxCool также используются для охлаждения и нагрева объектов, таких как электростатические держатели, применяющиеся в производстве полупроводниковых пластин.
Крионасосы Polycold MaxCool эффективно откачивают водяной пар, увеличивая производительность существующей системы вакуумной откачки от 20 до 100% и улучшая качество наносимых покрытий.
2500–4000 Вт
Отводимая мощность в зависимости от модели
10 000–220 000 л/с
Скорость откачки водяного пара в рабочей области
25–75%
Сокращение времени достижения высокого вакуума
Преимущества технологии
Преимущества крионасосов MaxCool
Высокоскоростная откачка водяного пара: от 10 000 до 220 000 л/с в рабочей области.
Увеличение выхода готового продукта от 20 до 100%.
Более низкое парциальное давление водяного пара для высокого качества пленок, лучшей адгезии и большей воспроизводимости нанесения.
Лучшее соотношение цена/производительность по сравнению со змеевиками, охлаждаемыми жидким азотом, типа Meissner.
Снижение эксплуатационных расходов благодаря возможности управления энергопотреблением.
Высокая мощность охлаждения и обогрева для большого разнообразия процессов.
Принцип работы
Криогенная откачка водяного пара
При установке в вакуумную систему, крионасос MaxCool может резко уменьшить время откачки и повысить выход продукции. Откачка паров происходит в течение считанных минут после старта, время отогрева – менее четырех минут.
Используя запатентованные смеси хладагентов, MaxCool работает по принципу ловушки Мейснера. Водяной пар конденсируется на охлажденной до криогенных температур поверхности. Она устанавливается прямо в вакуумную камеру, чтобы проводимость не ограничивалась фланцами, сильфонами, клапанами и перегородками.
Серия MaxCool
MaxCool 2500 L
2500 Вт
Теплоотведение до
Характеристики крионасоса MaxCool 2500 L
- Температура от −120 °C до −145 °C (от 153 до 128 K).
- Теплоотведение до 2500 Вт.
- Конденсирует водяной пар в вакуумных системах со скоростью 140 000 л/с до давлений порядка 8 × 10⁻¹⁰ Торр (1 × 10⁻⁹ мбар).
- Теоретическая максимальная скорость откачки 208 600 л/с.
- Опция управления энергопотреблением для минимизации эксплуатационных расходов.
- Контроль температуры.
- Запатентованные смеси нетоксичны и негорючи.
График производительности
Технические данные
Примечания к графикам
Примечание: в некоторых условиях криозмеевики могут быть увеличены для обеспечения больших скоростей откачки.
- Указанные температуры – средние для входа и выхода при использовании криозмеевика рекомендованного размера. Температурные разности между входом и выходом обычно равны 20 °C при максимальной нагрузке.
- Конечная точка каждой кривой – это максимальная нагрузка для данной модели.
- Температура при 50 Гц обычно на 3–5 °C выше, чем при 60 Гц (показана на графике).
Примечания
а) Стандартные условия для теста производительности.
- Температура окружающей среды змеевика 20 °C.
- Криозмеевики и холодные линии рекомендуемой длины.
- Температура охлаждающей воды между 25 °C и 28 °C.
- Частота 60 Гц.
б) Большие криозмеевики могут позволять большие скорости откачки.
в) Стандартный криозмеевик при 25% от максимальной скорости откачки.
г) Механические форвакуумные насосы в среднем более эффективны для удаления влаги при давлении выше 1 Торр.
д) При других параметрах электропитания свяжитесь с поставщиком. Для рабочего напряжения 480 В максимальное напряжение 506 В.
е) Модели протестированы в производственных условиях при максимальной нагрузке в режиме COOL.
ж) Для выполнения условий ANSI/ASHRAE-15-1994 криоохладители должны быть установлены в помещении с размерами не менее указанных.
з) Для змеевика площадью 2 м² максимальное время отогрева 5 минут. Большинство приложений требует меньших змеевиков, имеющих меньшее время отогрева. Змеевик площадью 1 м² отогревается в течение 2 минут.
Серия MaxCool
MaxCool 4000 H
4000 Вт
Теплоотведение до
Характеристики крионасоса MaxCool 4000 H
- Температура от −98 °C до −133 °C (от 183 до 140 K).
- Теплоотведение до 4000 Вт.
- Конденсирует водяной пар в вакуумных системах со скоростью 220 000 л/с до давлений порядка 5 × 10⁻⁸ Торр (7 × 10⁻⁸ мбар).
- Теоретическая максимальная скорость откачки 328 000 л/с.
- Опция управления энергопотреблением для минимизации эксплуатационных расходов.
- Контроль температуры.
- Запатентованные смеси нетоксичны и негорючи.
График производительности
Технические данные
Габаритные размеры MaxCool 4000 H
Габаритный чертёж MaxCool 4000 H. Размеры указаны в миллиметрах (дюймах).
Примечания к графикам
Примечание: в некоторых условиях криозмеевики могут быть увеличены для обеспечения больших скоростей откачки.
- Указанные температуры – средние для входа и выхода при использовании криозмеевика рекомендованного размера. Температурные разности между входом и выходом обычно равны 20 °C при максимальной нагрузке.
- Конечная точка каждой кривой – это максимальная нагрузка для данной модели.
- Температура при 50 Гц обычно на 3–5 °C выше, чем при 60 Гц (показана на графике).
Примечания
а) Стандартные условия для теста производительности.
- Температура окружающей среды змеевика 20 °C.
- Криозмеевики и холодные линии рекомендуемой длины.
- Температура охлаждающей воды между 25 °C и 28 °C.
- Частота 60 Гц.
б) Большие криозмеевики могут позволять большие скорости откачки.
в) Стандартный криозмеевик при 25% от максимальной скорости откачки.
г) Механические форвакуумные насосы в среднем более эффективны для удаления влаги при давлении выше 1 Торр.
д) При других параметрах электропитания свяжитесь с поставщиком. Для рабочего напряжения 480 В максимальное напряжение 506 В.
е) Модели протестированы в производственных условиях при максимальной нагрузке в режиме COOL.
ж) Для выполнения условий ANSI/ASHRAE-15-1994 криоохладители должны быть установлены в помещении с размерами не менее указанных.
з) Для змеевика площадью 2 м² максимальное время отогрева 5 минут. Большинство приложений требует меньших змеевиков, имеющих меньшее время отогрева. Змеевик площадью 1 м² отогревается в течение 2 минут.
Подбор крионасосов серии MaxCool
В нашей компании вы можете выбрать и купить крионасос для откачки паров воды, узнать характеристики и подобрать модель, исходя из вашего технического задания. Актуальная цена на вакуумное оборудование предоставляется по запросу. Свяжитесь с нами любым удобным для вас способом.
Актуальные предложения и ключевые направления
