Оценка суммарной газовой нагрузки по методу повышения давления в изолированной вакуумной камере. При стабильной температуре и отсутствии процессов, способных снижать давление, полученное значение можно использовать как верхнюю оценку реального натекания. Скорости утечки оно равно только если подтверждено, что рост давления вызван исключительно негерметичностью, а не десорбцией, газовыделением или виртуальными течами.
Порядок измерения: откачайте камеру → дайте давлению стабилизироваться → перекройте клапан к насосу → зафиксируйте p₁ и запустите отсчёт времени → по истечении интервала зафиксируйте p₂. Объём V — свободный газовый объём камеры вместе с трубопроводом до отсечного клапана.
Метод повышения давления использует изменение давления в известном изолированном объёме за известный промежуток времени.
При постоянных объёме и температуре суммарная газовая нагрузка определяется по скорости роста давления. Для интерпретации результата как постоянного атмосферного натекания давление в камере должно оставаться существенно ниже внешнего давления, а рост p(t) — быть близким к линейному. При обычной проверке с атмосферным воздухом снаружи результат относится к воздушному натеканию и напрямую не эквивалентен показанию гелиевого течеискателя.
При стабильной температуре и отсутствии дополнительных процессов, способных снижать давление, рассчитанная газовая нагрузка является верхней оценкой реального натекания. Равенство достигается только тогда, когда рост давления обусловлен исключительно негерметичностью.
Для качественного pressure-rise test важны не только формула, но и условия самого измерения.
Передайте параметры вакуумной системы инженерам ГК "Криосистемы". Мы поможем оценить результаты измерения и определить подходящий метод диагностики и течеискания.
