Магниторазрядные насосы
Магниторазрядные (ионные) насосы применяются для получения высокого и свехвысокого вакуума при давлениях ниже 10⁴ Торр. Их основными преимуществами являются отсутствие вибраций и частота полученного вакуума. В этом разделе представлены насосы компании Thermionics, которая разрабатывает и производит магниторазрядные насосы с 1958 года.
Серии магниторазрядных насосов
Компания Thermionics производит следующие серии магниторазрядных насосов:
Инертные диодные насосы
Водородные диодные насосы
Триодные насосы
Конструктивные особенности серий
Стандартные диодные насосы
В стандартных диодных насосах используются два титановых катода. Насосы этой серии являются лучшим выбором для большинства приложений в виду их надежности и соотношения скорость откачки/цена. Данные насосы не рекомендуются для откачки больших потоков водорода и инертных газов или для процессов с относительно частой загрузкой обрабатываемых элементов в вакуумную камеру.
Инертные диодные насосы
В инертных диодных насосах используется один титановый и один танталовый катоды для увеличения скорости откачки инертных газов. Увеличение скорости откачки исключает нестабильность по давлению, возможную в стандартных диодных насосах. Данные насосы наиболее подходят для откачки инертных газов.
Водородные диодные насосы
Водородные диодные насосы имеют два конструктивных отличия от стандартных. Первое — наличие большого катода. Поскольку водород поглощается титаном, как вода губкой то, чем больше титановый катод, тем больше водорода он сможет впитать. С другой стороны, такое поглощение водорода может привести к физической деформации катода. Поэтому второе отличие водородных насосов состоит в специальной структуре, которая предотвращает искажение катода. Эти насосы рекомендованы для тех приложений, где основной газовой нагрузкой является водород или водородсодержащие газы.
Триодные насосы
В триодных насосах использована обратная электрическая полярность изменённая конструкция катода, что бы достичь двух важных преимуществ над диодными насосами:
- Электрически изолированный катод позволяет разжечь электрических разряд при более высоком давлении, что приводит к значительному сокращению времени выхода на режим.
- Распыляющий катод спроектирован таким образом, что может распылять как инертные, так и обычные газы.
Триодные насосы имеют самые высокие скорости для инертных газов и стабильно работают при натекании аргона. Недостаток: из-за особенности распыляющего катода триодные насосы требуют более частого сервиса.
Этапы сотрудничества
-
Шаг 1.Обращение в компанию
Вы можете связаться с нами по телефону, почтой или оставить заявку через форму обратной связи.
-
Шаг 2. Подбор оборудования
Наши специалисты помогут с выбором необходимого оборудования и комплектующих к нему.
-
Шаг 3. Заключение договора
После оформляем заказ на доставку оборудования.
-
Этап 4. Доставка
После оплаты и поступления оборудования осуществляем доставку.
Подбор оборудования
Наши специалисты помогут с выбором необходимого оборудования и комплектующих к нему.
Как нас найти
Расположение компании отмечено на интерактивной карте. Масштабируйте карту и используйте встроенные инструменты Яндекс Карт для просмотра маршрута.