Стандартные диодные насосы
IP серия
Инертные диодные насосы
NP серия
Водородные диодные насосы
HP серия
Триодные
насосы
TP СЕРИЯ
Компания Thermionics производит следующие серии магниторазрядных насосов:
- Стандартные диодные насосы (IP серия).
- Инертные диодные насосы (NP серия).
- Водородные диодные насосы (HP серия).
- Триодные насосы (TP серия).
В стандартных диодных насосах используются два титановых катода. Насосы этой серии являются лучшим выбором для большинства приложений в виду их надежности и соотношения скорость откачки/цена. Данные насосы не рекомендуются для откачки больших потоков водорода и инертных газов или для процессов с относительно частой загрузкой обрабатываемых элементов в вакуумную камеру.
В инертных диодных насосах используется один титановый и один танталовый катоды для увеличения скорости откачки инертных газов. Увеличение скорости откачки исключает нестабильность по давлению, возможную в стандартных диодных насосах. Данные насосы наиболее подходят для откачки инертных газов.
Водородные диодные насосы имеют два конструктивных отличия от стандартных. Первое наличие большого катода. Поскольку водород поглощается титаном, как вода губкой то, чем больше титановый катод, тем больше водорода он сможет впитать. С другой стороны, такое поглощение водорода может привести к физической деформации катода. Поэтому второе отличие водородных насосов состоит в специальной структуре, которая предотвращает искажение катода. Эти насосы рекомендованы для тех приложений, где основной газовой нагрузкой является водород или водородсодержащие газы.
В триодных насосах использована обратная электрическая полярность изменённая конструкция катода, что бы достичь двух важных преимуществ над диодными насосами:
- Электрически изолированный катод позволяет разжечь электрических разряд при более высоком давлении, что приводит к значительному сокращению времени выхода на режим.
- Распыляющий катод спроектирован таким образом, что может распылять как инертные, так и обычные газы.
Триодные насосы имеют самые высокие скорости для инертных газов и стабильно работают при натекании аргона. Недостаток: изза особенности распыляющего катода триодные насосы требуют более частого сервиса.
