| Предельное остаточное давление, Па |
2·10-4* |
| Точность измерения безмасляного вакуума в чистой, не загруженной рабочей камере, % |
±30 |
| Время достижения предельного значения остаточного давления в рабочей камере, включая время выхода на режим криогенного насоса, мин |
240 |
| Время работы оборудования в режиме повышенной газовой нагрузки в 6.4∙10-4 Па∙м3/c при давлении 7,4∙10-4 Па, ч |
96 |
| Для чистой установки скорость изменения давления от нормального (0,98±0,04)·104 Па до пониженного (4±0,3)·10-4 Па и в обратном направлении, Па/с |
533,1 |
| Конструкция рабочей камеры должна обеспечивать поддержание пониженного давления в течение 72 ч, Па |
130 |
| Диапазон изменения температуры термостола, °C |
от минус 70 до +100 |
| Время нагрева термостола |
От +25 °C до +70 °C - ≤90 мин. От +25 °C до +100 °C - 150 мин. |
| Время охлаждения термостола |
От +25 °C до -60 °C - 110 мин. От +25 °C до -70 °C - 130 мин. |
| Расход охлаждающей воды, л/мин, не менее |
35 |
| Расход газообразного азота, н.л./мин |
28-57 |
| Давление газообразного азота, бар |
0.5-3.0 |
| Суммарная потребляемая электрическая мощность, кВт |
30 |
| Габариты термовакуумной установки, мм, не более |
4725х3215х2500 |
| Габариты термостатируемого стола, мм |
700х1000 |
| Максимальная высота устанавливаемых на термостатируемый стол изделий, мм |
350 |
| Максимальная масса исследуемого изделия, кг |
75 |