Задача Заказчика: Синтез нанотрубок и других углеродных структур из газовой фазы методом термического разложения поступающих газов
Производитель: Установка модели CVDLab 60_1100, сконфигурированная для синтеза углеродных наноструктур при пониженном/повышенном давлении была полностью разработана и собрана в компании “Криосистемы”
Спецификация:
Ионный имплантер на средних токах и энергии до 200 кэВ
Заказчику для завершения создания полного цикла создания изделий электронной техники требовался ионный имплантер. Заказчику был предложен и поставлен Ионный имплантер модели IMC-200 от нашего партнера французской компании IBS.
Имплантер модели IMC-200, разработанный компанией «Ion Beam Services», предназначен для решения производственных задач и для проведения исследований при имплантации стандартных и/или редко применяемых примесей.
В лаборатории заказчика система устанавливалась под ключ с монтажом чиллера, установки системы подачи рабочих газов.
Подготовка к отработке источников. Виден магнетрон, LTE источник термические источники, их экраны и заслонки демонтированы
Отработка технологии для заказчика и проверка установки в сервис центре Компании, тестирование магнетрона
Установка для лабораторий ВУЗов
Установлены 2 источника термического испарения, магнетрон с мишенью 50 мм, LTE источник для работы с органическими соединениями, установка автоматизирована, все действия оператора идут через человекомашинный интерфейс.
Результат после ремонта и реконструкции:
Замена диффузионного насоса и вакуумметрии. Установлены: криогенный насос, контроллер для высоковакуумного и двух низковакуумных датчиков, датчики на камере установки и криогенном насосе, модуль для контроля форвакуумного насоса. Форвакуумный спиральный насос, клапаны с пневмоприводом взамен штатных клапанов установки, пневмораспределители адаптированы и включены в существующие пневмо и электросети установки.
Замена диффузионного насоса и вакуумметрии Установлены: ТМН с интегрированным контроллером, контроллер для двух низковакуумных и одного высоковакуумного датчика, датчики на камере установки и ТМН, модуль для контроля работы форвакуумного насоса , форвакуумный спиральный насос, клапаны с пневмоприводом взамен штатных клапанов установки, пневмораспределители адаптированы и включены в существующие пневмо и электросети установки.
Запуск в эксплуатацию установки [] осаждения резистивных покрытий
Запущена в эксплуатацию установка [] осаждения резистивных покрытий на образцы из поликора (48х60 мм). Установка изготовлена израильской компанией VST, имеет в составе два магнетрона диаметром мишени 100 мм и вращающийся подложкодержатель на 16 позиций образцов. Откачка полностью сухая и состоит из турбомолекулярного насоса Shimadzu на магнитной подвеске и спирального насоса компании Anest Iwata.
|
|
|
|
| |||
|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
Run_4 | T (min) | Power (W) | P (mTorr) | Gas flow | RPM |
|
|
15 | xxxx | xxx | xxx | 30 | |
|
|
||||||
|
|
Res | 192,5 | 190,2 | 190,3 | 193,2 | |
| Rmax | 193,2 | Uniform:±0,83% | ||||
| Rmin | 190 |
Серия испытательных камер объемами от 100 до 500л для одного из предприятий Роскосмос
Следующие типы установок вошли в эту серию:
Управление
Управление осуществляется с установленного на стойке управления сенсорного монитора, предусмотрен как автоматический режим откачки (нажатием одной кнопки), так и ручной режим, где доступно управление всеми элементами вакуумной системы.
В ручном режиме предусмотрены блокировки, не позволяющие произвести ошибочные действия, которые могут повредить оборудование. Проводится мониторинг вакуума не только в вакуумной камере, но и в ключевых точках системы откачки, что позволяет эффективно управлять откачкой и заблаговременно обнаруживать возможные неисправности.
Воздушное охлаждение
Все средства откачки имеют воздушное охлаждение, что позволило избежать проблем с подводом дополнительных коммуникаций (охлаждающей воды) или размещения дополнительного оборудования (чиллера) в помещениях заказчика.
Сборка и отладка данных установок проводилась в сервис-центре нашей компании. Установки поставлялись заказчику в максимально собранном виде (минимальная разборка для обеспечения удобства и безопасности перевозки) и хранились на складе заказчика до готовности помещений. После готовности заказчика к пусконаладке, сборка и приемоздаточные испытания проводились в минимальные сроки
