Технологическая задача
Фиксируются процессы напыления и травления, параметры тонких пленок, требования к чистоте и рабочей среде.
Проект ГК «Криосистемы»
Сверхвысоковакуумная установка для напыления и травления тонких пленок
Галерея установки
Как начинается проект сверхвысоковакуумной установки
Для подобных систем важно заранее связать требования к вакууму, технологический процесс, компоновку камеры, средства напыления и травления, а также удобство обслуживания.
Состав установки
Определяются вакуумная камера, насосные узлы, источники, арматура, датчики, управление и вспомогательные системы.
Сборка и проверка
Установка собирается, проверяется по герметичности, вакууму, механике и готовности технологических узлов.
Запуск в лаборатории
Проводятся монтаж, пусконаладка, проверка режимов и передача установки для дальнейшей эксплуатации.
Нужна установка для тонкоплёночных процессов?
Опишите задачу, рабочую среду, требования к вакууму, напылению, травлению и компоновке. Инженеры ГК «Криосистемы» помогут определить состав системы.
Актуальные предложения и ключевые направления
