Ввод в эксплуатацию криогенной зондовой станции
В мае 2012 года специалистами ГК «Криосистемы» была успешно запущена в эксплуатацию криогенная зондовая станция для электрофизических и оптических измерений эпитаксиальных слоев широкозонных полупроводников при температурах 11К-475К. Производитель станции — Janis Research Co., LLC.
Данная станция позволяет проводить измерения стандартных полупроводниковых подложек диаметром до 50,8 мм, а также оптические измерения люминесценции образцов в диапазоне длин волн 180-2000 нм.
Стол обеспечивает изоляцию колебаний амплитудой 1 мкм и выше на частоте 1-2 Гц. Для точного позиционирования пробников предусмотрена моноскопическая цветная оптическая система с разрешением по координате 5 мкм, максимальной кратностью увеличения 216 раз, рабочей дистанцией 90 мм и полем обзора 1,4-8,8 мм.