В мае 2012 года специалистами ГК “Криосистемы” была успешно запущена в эксплуатацию криогенная зондовая станция для электрофизических и оптических измерений эпитаксиальных слоев широко-зонных полупроводников при температурах 11К-475К (производитель Janis Research Co., LLC).

Данная станция позволяет проводить: измерения стандартных полупроводниковых подложек диаметром до 50,8 мм; оптические измерения люминесценции образцов в диапазоне длин волн 180-2000 нм.

Станция оснащена двумя микроманипуляторами с вакуумными сильфонными уплотнениями с микрометрическими винтами, позволяющими перемещать зонды в трех направлениях: в направлении пробника на расстояние до 50 мм, перпендикулярно пробнику на расстояние до 40 мм и в вертикальном направлении на расстояние до 10 мм.

В комплект входит набор прецизионных пробников для проведения электрофизических измерений, в том числе для измерения вольт-фарадных зависимостей и адмиттанса, полупроводниковых гетероструктур и чипов.

Станция установлена на специальный антивибрационный стол c виброизоляцией системы на основе пневмоподушек для гашения вертикальных и горизонтальных вибраций. Стол обеспечивает изоляцию колебаний амплитудой 1 мкм и выше на частоте 1-2 Гц.

Для точного позиционирования пробников в составе оборудования предусмотрена моноскопическая цветная оптическая система с разрешением по координате 5 мкм, максимальной кратностью увеличения 216 раз, рабочая дистанция 90 мм, поле обзора 1,4-8,8 мм.