Сверхвысоковакуумная установка UHV PVD System для распыления материалов и лазерного испарения

Сверхвысоковакуумная установка (UHV PVD System) — уникальное оборудование для распыления материалов в вакууме источниками распыления или испарения лазерным лучом. Производитель: CHI-VAC, Китай. Установка создана по специальному техническому заданию заказчика и предназначена для работы в одном из подразделений Сибирского отделения Академии Наук РФ.


	Тип оборудования	Сверхвысоковакуумная установка для распыления материалов в вакууме источниками распыления или испарения лазерным лучом
	Производитель	CHI-VAC, Китай
	Количество источников распыления	4
	Блоки питания источников распыления	постоянный ток (500 Вт — 2 шт)
	Ионная пушка	для чистки образцов
	Манипулятор для нагрева и охлаждения образцов	нагрев до 1000°С, охлаждение — не указано
	Манипулятор мишеней	для лазерного испарения
	Насос турбомолекулярный (загрузочная камера)	300 л/с
	Насос турбомолекулярный (основная камера)	700 л/с
	Насос ионный (основная камера)	400 л/с
	Насос форвакуумный	8 л/с
	Датчики вакуума	есть
	Шкафы управления	два шкафа с блоками питания и контроллерами
	Радиочастотные/ВЧ/СВЧ компоненты	отсутствуют
	Источники питания	все на постоянном токе

Установка предназначена для осаждения тонких пленок различных материалов для исследований и разработок в области материаловедения и микроэлектроники. В установке установлены четыре источника распыления. Также есть возможность испарять различные вещества при помощи лазера.

Дополнительная информация

Установка не имеет серийного номера, так как создана по специальному техническому заданию заказчика.
В установке нет радиочастотных, высокочастотных или сверхвысокочастотных компонентов или источников питания.
В составе установки имеются манипуляторы-заслонки и манипуляторы с шаговыми двигателями для заслонок, которые движутся поступательно и организуют градиентный поток распыленного материала на образец.

Область применения

Осаждение тонких пленок различных материалов для исследований и разработок в области материаловедения
Осаждение тонких пленок для микроэлектроники
Работа в одном из подразделений Сибирского отделения Академии Наук РФ

Оставьте заявку на подбор оборудования

Оставьте заявку — мы подготовим индивидуальное коммерческое предложение с учётом ваших технических требований, сроков и бюджета.

Мы работаем с комплексными и нестандартными задачами для промышленности, науки и высокотехнологичных отраслей.

Инженер компании внимательно изучит вашу заявку, свяжется для уточнения деталей, проведёт предварительную консультацию и, при необходимости, поможет сформулировать техническое задание.

Наши эксперты обеспечат:

подбор оптимального оборудования из ассортимента собственного и партнёрского производства;
расчёт стоимости, сроков поставки и вариантов комплектации;
оперативную подготовку индивидуального предложения для вашего проекта;
сопровождение на всех этапах — от консультации до пусконаладочных работ и сервисного обслуживания.

ОСТАВИТЬ ЗАЯВКУ КОНТАКТЫ

Наши преимущества — ваш технологический результат

Компания «Криосистемы» — это инженерная экспертиза, персонализированные решения и надёжное сопровождение на всех этапах работы с вакуумным и криогенным оборудованием. Мы не просто поставляем оборудование — мы проектируем системы, которые решают задачи вашего бизнеса. От подбора модели до пуско-наладочных работ и сервисной поддержки — работаем как единая команда с вашими техническими специалистами.

Профильная инженерная экспертиза

20+ лет в вакуумной и криогенной отрасли. Узкоспециализированные инженеры подбирают решения под конкретные задачи, понимая технические нюансы каждого проекта.

Подбор и проектирование под ТЗ

Разрабатываем системы под технические требования заказчика: от выбора оборудования до проектирования полной вакуумной системы любой сложности.

Индивидуальное производство

Собственная инженерная служба, выезд на объект, запуск, шеф-монтаж и обучение персонала. Работаем с нестандартными задачами и создаём решения «под ключ».

Эксклюзивные поставки

Поставляем оборудование от мировых лидеров:
Brooks Automation, Shimadzu, Anest Iwata, Kashiyama, Janis и др.
Эксклюзивные контракты гарантируют конкурентные условия и прямую техническую поддержку.

Надёжная логистика по РФ и СНГ

Контроль доставки, работа с проверенными ТК, отслеживание на каждом этапе, соблюдение сроков и бюджета.

Сервисная поддержка

Сертифицированный сервис-центр в Москве.
Обслуживаем, консультируем, ремонтируем — удалённо или на месте. Решаем задачи в короткие сроки, без простоев.