Система подачи газа AFC500-5SLM

Система подачи газа AFC500-5SLM относится к электронным приборам для автоматической подачи и регулирования расхода газов. Производитель — ATOVAC Co. Ltd (Южная Корея), торговая марка ATOVAC. Каталожный номер: AFC500-5SLM.

Контроллер давления CG2000
Питание	220 В
Реле	Два реле контроля
Датчик вакуума CG202
Рабочий диапазон давлений	8×10⁻⁴ – 1000 Торр
Монтажное положение	горизонтально
Рабочая температура	0 – 50 °C
Затвор вакуумный ATV1000-1-40-1
Разрешение угла поворота	1/24000
Дифференциальное давление	1 атм.
Рабочая температура	–20 – +40 °C
Фланец	DN40KF
Регулятор расхода газа AFC500 (калибровка по H₂, до 5000 sccm)
Входной фитинг	Swagelok 1/4"
Материал корпуса	Нержавеющая сталь
Уплотнение	Витон

Система включает контроллер давления CG2000, датчик вакуума CG202, вакуумный затвор ATV1000-1-40-1 и два регулятора расхода газа AFC500 (один калиброван по Ar, второй — по H₂). Вся схема подачи газа показана на чертеже.

Контроллер давления CG2000

Затвор вакуумный ATV1000-1-40-1

Датчик вакуума CG202

Регулятора расхода газа, модель AFC500

Дополнительная информация

Затвор контролирует положение заслонки для уставки заданного значения давления, используя показания датчика CG202.
Контроллер CG2000 снимает показания давления в вакуумной камере с датчика CG202.

Область применения

Вакуумная техника
Высокотехнологичные установки производства полупроводниковых устройств
Различные системы газоподачи

Оставьте заявку на подбор оборудования

Оставьте заявку — мы подготовим индивидуальное коммерческое предложение с учётом ваших технических требований, сроков и бюджета.

Мы работаем с комплексными и нестандартными задачами для промышленности, науки и высокотехнологичных отраслей.

Инженер компании внимательно изучит вашу заявку, свяжется для уточнения деталей, проведёт предварительную консультацию и, при необходимости, поможет сформулировать техническое задание.

Наши эксперты обеспечат:

подбор оптимального оборудования из ассортимента собственного и партнёрского производства;
расчёт стоимости, сроков поставки и вариантов комплектации;
оперативную подготовку индивидуального предложения для вашего проекта;
сопровождение на всех этапах — от консультации до пусконаладочных работ и сервисного обслуживания.

ОСТАВИТЬ ЗАЯВКУ КОНТАКТЫ

Наши преимущества — ваш технологический результат

Компания «Криосистемы» — это инженерная экспертиза, персонализированные решения и надёжное сопровождение на всех этапах работы с вакуумным и криогенным оборудованием. Мы не просто поставляем оборудование — мы проектируем системы, которые решают задачи вашего бизнеса. От подбора модели до пуско-наладочных работ и сервисной поддержки — работаем как единая команда с вашими техническими специалистами.

Профильная инженерная экспертиза

20+ лет в вакуумной и криогенной отрасли. Узкоспециализированные инженеры подбирают решения под конкретные задачи, понимая технические нюансы каждого проекта.

Подбор и проектирование под ТЗ

Разрабатываем системы под технические требования заказчика: от выбора оборудования до проектирования полной вакуумной системы любой сложности.

Индивидуальное производство

Собственная инженерная служба, выезд на объект, запуск, шеф-монтаж и обучение персонала. Работаем с нестандартными задачами и создаём решения «под ключ».

Эксклюзивные поставки

Поставляем оборудование от мировых лидеров:
Brooks Automation, Shimadzu, Anest Iwata, Kashiyama, Janis и др.
Эксклюзивные контракты гарантируют конкурентные условия и прямую техническую поддержку.

Надёжная логистика по РФ и СНГ

Контроль доставки, работа с проверенными ТК, отслеживание на каждом этапе, соблюдение сроков и бюджета.

Сервисная поддержка

Сертифицированный сервис-центр в Москве.
Обслуживаем, консультируем, ремонтируем — удалённо или на месте. Решаем задачи в короткие сроки, без простоев.