Сверхвысоковакуумная установка UHV PVD System

Сверхвысоковакуумная установка UHV PVD System — осаждение тонких пленок

Сверхвысоковакуумная установка UHV PVD System — уникальное оборудование для осаждения материалов в вакууме термическими источниками и последующего травления ионным пучком.

Производитель — Adnanotek (Тайвань).

Установка предназначена для осаждения тонких пленок различных материалов для исследований и разработок в области материаловедения и микроэлектроники.

В установке предусмотрен термический источник испарения материалов.

Рабочий материал загружается в тигель электронно-лучевого источника, нагревается потоком электронов, испаряется в вакууме и переосаждается на подложку, размещенную на манипуляторе.

Дополнительная информация

Установка обычно состоит из 4 основных модулей.

Состав модулей: загрузочная камера и автоматический линейный манипулятор загрузки/выгрузки; вакуумная камера с ионным источником для очистки и травления; вакуумная камера с электронно-лучевым источником и манипулятором подложки; вакуумная камера для оксидизации осажденной пленки и автоматический линейный манипулятор загрузки/выгрузки.
Также указаны два шкафа управления с блоками питания и контроллерами.
Узлы и их роль: манипуляторы перемещают образец между камерами; манипуляторы-заслонки управляют потоком испаренного материала; вакуумные насосы откачивают воздух; вакуумные датчики измеряют давление; ионная пушка формирует поток ионов для чистки/травления.

Область применения

Исследования и разработки в области материаловедения.
Исследования и разработки в области микроэлектроники.
Работа в одном из подразделений Сибирского отделения Академии Наук РФ (как указано во входном тексте).

Оставьте заявку на подбор оборудования

Оставьте заявку — мы подготовим индивидуальное коммерческое предложение с учётом ваших технических требований, сроков и бюджета.

Мы работаем с комплексными и нестандартными задачами для промышленности, науки и высокотехнологичных отраслей.

Инженер компании внимательно изучит вашу заявку, свяжется для уточнения деталей, проведёт предварительную консультацию и, при необходимости, поможет сформулировать техническое задание.

Наши эксперты обеспечат:

подбор оптимального оборудования из ассортимента собственного и партнёрского производства;
расчёт стоимости, сроков поставки и вариантов комплектации;
оперативную подготовку индивидуального предложения для вашего проекта;
сопровождение на всех этапах — от консультации до пусконаладочных работ и сервисного обслуживания.

ОСТАВИТЬ ЗАЯВКУ КОНТАКТЫ

Наши преимущества — ваш технологический результат

Компания «Криосистемы» — это инженерная экспертиза, персонализированные решения и надёжное сопровождение на всех этапах работы с вакуумным и криогенным оборудованием. Мы не просто поставляем оборудование — мы проектируем системы, которые решают задачи вашего бизнеса. От подбора модели до пуско-наладочных работ и сервисной поддержки — работаем как единая команда с вашими техническими специалистами.

Профильная инженерная экспертиза

20+ лет в вакуумной и криогенной отрасли. Узкоспециализированные инженеры подбирают решения под конкретные задачи, понимая технические нюансы каждого проекта.

Подбор и проектирование под ТЗ

Разрабатываем системы под технические требования заказчика: от выбора оборудования до проектирования полной вакуумной системы любой сложности.

Индивидуальное производство

Собственная инженерная служба, выезд на объект, запуск, шеф-монтаж и обучение персонала. Работаем с нестандартными задачами и создаём решения «под ключ».

Эксклюзивные поставки

Поставляем оборудование от мировых лидеров:
Brooks Automation, Shimadzu, Anest Iwata, Kashiyama, Janis и др.
Эксклюзивные контракты гарантируют конкурентные условия и прямую техническую поддержку.

Надёжная логистика по РФ и СНГ

Контроль доставки, работа с проверенными ТК, отслеживание на каждом этапе, соблюдение сроков и бюджета.

Сервисная поддержка

Сертифицированный сервис-центр в Москве.
Обслуживаем, консультируем, ремонтируем — удалённо или на месте. Решаем задачи в короткие сроки, без простоев.