Вакуумная арматура · Vacuum Research
Высоковакуумная отсечка и регулирование скорости откачки. Электропневматические и ручные исполнения с фланцами ISO, а также дроссельные затворы Throttlemaster с сервоприводом для процессов напыления и плазменного травления.
Высоковакуумная отсечка
Корпус из нержавеющей стали или сварного алюминия, присоединение ISO. Для выбора исполнения сопоставьте материал корпуса, фланцы и требуемый ресурс уплотнения.
| Материал корпуса | Нержавеющая сталь или сварной алюминий |
|---|---|
| Присоединение | Фланцы ISO |
| Привод | Электропневматический |
| Ресурс уплотнения | 250 000 циклов; доступно исполнение на 1 000 000 циклов |
| Дополнительные фланцы | Опция — до 6 вспомогательных фланцев для форвакуумной откачки |
| При отсутствии воздуха | Возможность ручного управления |
| При отключении электричества | Затвор закрывается |
| Перепад давлений для исполнения под заказ | До 10 бар (1 МПа) |
Высоковакуумная отсечка
Высоковакуумные затворы с ручным приводом, корпусом из нержавеющей стали или сварного алюминия и фланцами ISO. Таблица размеров и схема показывают присоединительные и монтажные параметры исполнений.
Корпус из алюминия 6061
| Материал корпуса | Алюминий 6061 |
|---|---|
| Привод | Электропневматический |
| Температура прогрева | До 200 °C |
| Ресурс уплотнения | 250 000 циклов; доступно исполнение на 1 000 000 циклов |
| Присоединение | Фланцы ISO большого размера; стандартные центрирующие кольца ISO |
| Дополнительные фланцы | Опция — до 6 вспомогательных фланцев для форвакуумной откачки |
| При отсутствии воздуха | Возможность ручного управления |
| При отключении электричества | Затвор закрывается |
| Перепад давлений для исполнения под заказ | До 10 бар (1 МПа) |
Регулирование проводимости
Сервопривод контролирует положение заслонки от полного открытия до полного закрытия, включая промежуточные положения.
| Материал корпуса | Алюминий или нержавеющая сталь |
|---|---|
| Фланцы ISO | От 63 до 400 мм |
| Фланцы ANSI | От 2 до 16 дюймов |
| Управление | Ручное или с обратной связью |
| Ориентация при монтаже | Любая относительно вакуума |
| Перепад давлений | До 3 бар |
| Дополнительные подключения | Фланец для форвакуумной откачки или установки датчика |
Приводной механизм управляет заслонкой, в том числе на участке от 90% до полного закрытия. Дополнительный фланец позволяет подключить форвакуумную откачку или установить датчик.
Переключатели открытия, закрытия и установки положения заслонки. Трёхцифровая индикация позволяет задавать положение до 99,9%.
Питание привода: 115 В / 60 Гц или 220 В / 50 Гц. При питании 220 В / 50 Гц мощность составляет примерно 300 Вт.
Отсечка и дросселирование
Совмещает высоковакуумную отсечку и регулирование скорости откачки насоса в процессах напыления или плазменного травления.
| Функция | Дроссельный и высоковакуумный отсечной затвор |
|---|---|
| Материал корпуса | Алюминий или нержавеющая сталь |
| Ориентация при монтаже | Любая |
| Фланцы ANSI | От 2 до 20 дюймов |
| Диапазон условного прохода фланцев ISO | От ДУ50 до ДУ500 |
| Положение заслонки | Фиксация в открытом и закрытом положениях |
| Положение рукоятки | Правое, центральное или левое |
| Дополнительные подключения | Фланцы от KF16 до KF50 для форвакуумной откачки и датчиков; расположение в любом месте корпуса |
Рукоятку можно установить справа, по центру или слева. Дополнительные фланцы для форвакуумной откачки и датчиков выбирают по расположению подключений в вакуумной системе.
На фотографии показан приводной механизм без защитного кожуха.
Укажите назначение — отсечка или регулирование откачки, рабочее давление и перепад давлений, тип и размер фланцев, материал корпуса, температуру прогрева и требуемый привод. Приложите схему подключений дополнительных портов.
Подберём исполнение по техническому заданию. Актуальная цена предоставляется по запросу.
