ИЗМЕРЕНИЕ И КОНТРОЛЬ РАСХОДА ГАЗОВ И ЖИДКОСТЕЙ, НАТЕКАТЕЛИ
МАССОВЫЕ РАСХОДОМЕРЫ И РЕГУЛЯТОРЫ РАСХОДА ЖИДКОСТЕЙ (РРЖ)
Серии LF/LV
Основаны на первом в мире сенсоре с уникальным методом охлаждения
Основные преимущества:
- Регулирование малых расходов, начиная от микро+литров,
- Высокая точность поддержания и измерения расходов низкокипящих и вязких жидкостей: H2O, ТЕОS, TiCl4 и многих других, используемых в полупроводниковых технологиях и других отраслях промышленности,
- Особо чистый,
- Калибровка,
- Быстрое время отклика во всем диапазоне измерения,
- Автоматический ПИД+контроль и программное обеспечение,
- Высокая точность (± 1% F.S.),
- Не подвержен воздействию температуры окружающей среды,
- Может использоваться для измерения жидкостей с низкой температурой кипения.
Принцип действия:
Датчик регулятора расхода жидкости (РРЖ) серии LF/LV состоит из электронного охлаждающий элемент (элемент Пельтье), находящегося в контакте с капиллярной трубкой, а также нескольких температурных датчиков. При протекании жидкости датчик фиксирует рост температуры (ΔТ), соответствующий расходу и показывает значение в единицах расхода. В отличие от методов, где используется нагревание жидкости, метод измерения с охлаждением позволяет измерять расход жидкостей с низкой температурой кипения. Этот метод также позволяет избежать проблем связанных с помехами, возникающими вследствие испарения, и значительно повышает точность измерений.
Характеристики цифровых и аналоговых РРЖ серии LF/LV
* F.S. - полная шкала измерения * 1 Для серий LF/LV калибровка расхода производится с использованием заданного типа жидкости (Указывайте тип используемой жидкости при заказе прибора) • Жидкости содержащие твердую фазу не измеряются. • Проконсультируйтесь с поставщиком, если планируете использовать прибор со смесью жидкостей, состав которой может меняться. • При использовании приборов типа LV для измерения жидкости содержащей мелкие частицы, установите фильтр 0,2 мкм (Abs) с основной стороны. *2 Приборы типа LV в зависимости от расхода могут применяться при максимальной вязкости 0,01 Паoс. Проконсультируйтесь с поставщиком, если планируете использовать прибор для жидкостей с высокой вязкостью. *3 Характеристики точности, линейности и повторяемости гарантируются при калибровки жидкости на основании SEMI E56+1296. *4 Эта характеристика корректируется функцией AUTO+PID с контрольным пьезо-клапаном. *5 Обеспечивайте надлежащим образом точность измерения, следите чтобы температура входящей жидкости была не ниже 10 °С и не выше 3 °С температуры окружающей среды. *6 Характеристика рабочего давления соответствует диапазону давления при котором вязкость жидкости 0,001 Паoс. *7 Характеристика перепада давления определена при введении жидкости (вязкость 0,001 Паoс) при 100% F.S. точки измерения.
Устройство и принцип работы РРЖ серии LV:
РРЖ серии LV аналогичен регулятору серии LF, при этом в него дополнительно включен клапан с пьезоприводом и внутренний контрольный контур сравнения. Контроллеры этой серии сравнивают установленный сигнал расхода и сигнал расхода на выходе и автоматически контролируют проходное отверстие клапана так, чтобы оба сигнала были равны. Поскольку они используют систему контроля с обратной связью, расход жидкости не изменяется и стабилен, несмотря на влияние внешних факторов. Это позволяет проводить точный контроль расхода. Использование контрольного клапана с пьезоприводом, обладающего стабильностью и не выделяющим тепло, делает эти приборы идеальными для контроля жидкостей с низкой температурой кипения.
В нашей компании вы можете выбрать и купить расходомеры и регуляторы расхода газа и жидкостей, узнать характеристики и подобрать модель, исходя из вашего технического задания. Актуальная цена на вакуумное оборудование предоставляется по запросу. Свяжитесь с нами любым удобным для вас способом.
