Анализатор остаточных газов (RGA) для измерения состава газа и парциальных давлений в рабочих камерах вакуумных систем.
Контроль остаточного газа помогает воспроизводить химические и физические условия полупроводниковых, исследовательских и производственных процессов.
Анализатор включает источник ионов, квадрупольный масс-анализатор и измерительную часть. Газ ионизируется электронами, испускаемыми нагретой нитью. Постоянное и переменное напряжение на электродах квадруполя разделяет ионы по отношению массы к заряду. Детектор — чаша Фарадея — регистрирует ионный ток.
Сенсорный блок калибруется по парциальному давлению и позволяет измерять полное и парциальные давления остаточных газов. В конструкции MicroPole™ (MPA) применяются технологии прецизионного оптического травления и соединения стекла с металлом.
| Параметр | Тип 7-2/65 | Тип 5-2/100 |
|---|---|---|
| Максимальное рабочее давление по азоту, Па | 0,9 | 0,6 |
| Минимальное определяемое парциальное давление, Па | 5 × 10⁻⁶ (70 эВ) | 5 × 10⁻⁶ (70 эВ) |
| Разрешение, AMU | 1,2 ± 0,3 | 1,0 ± 0,3 |
| Максимальная температура прогрева, °C | 350 | 350 |
| Максимальная рабочая температура, °C | 150 | 150 |
| Соединение MPA | CF34 (ICF 34) | CF34 (ICF 34) |
| Соединение SMPA | CF34 (ICF 34), ISO-KF16 (NW 16) | CF34 (ICF 34), ISO-KF16 (NW 16) |
| Масса MPA с фланцем CF34 | 50 г | 50 г |
| Масса SMPA с фланцем ISO-KF16 | 50 г | 50 г |
| Масса SMPA с фланцем CF34 | 70 г | 70 г |
| Нити накала | Y₂O₃/Ir — 2 шт. | Y₂O₃/Ir — 2 шт. |
| RoHS | Совместимый | Совместимый |
| Параметр | QL-SG01-065 | QL-SG01-100 |
|---|---|---|
| Диапазон масс, AMU | 2–65 | 2–100 |
| Фильтр масс | Квадруполь | Квадруполь |
| Детектор | Чаша Фарадея | Чаша Фарадея |
| Скорость сканирования | 1 с/скан для одного газа; 10 с/скан для 10 газов | 1 с/скан для одного газа; 10 с/скан для 10 газов |
| Энергия ионизации, эВ | 43 или 70 | 43 или 70 |
| Рабочая температура, °C | 15–45 | 15–45 |
| Рабочая влажность, % RH | 30–80, без конденсации | 30–80, без конденсации |
| Масса со специальным фланцем для SMPA, г | 565 | 565 |
| Коммуникации | RS485; 9,6K / 19,2K / 38,4 Kbps | RS485; 9,6K / 19,2K / 38,4 Kbps |
| Электропитание | DC 24 V ±5%, 70 VA | DC 24 V ±5%, 70 VA |
| Тип соединения | PRC05-R6M | PRC05-R6M |
| Мониторинг / управление | QL-MC01 или ПО QL-MS01 | QL-MC01 или ПО QL-MS01 |
| CE | Соответствие | Соответствие |
| RoHS | Соответствие | Соответствие |
