ИСПАРИТЕЛИ И ГАЗОАНАЛИЗАТОРЫ
Квадрупольный масс'спектрометр (анализатор) остаточных газов
MICROPOLE™
Современные полупроводниковые технологии достигли наноуровня и тематика многих исследований и производств,так или иначе, ставит задачу стабильного воспроизведения химических/физических условий процесса. Особое внимание обращается на измерение и анализ остаточного газа в рабочих камерах различных вакуумных систем. HORIBA STEC предлагает анализаторы остаточного газа (RGA) с самым маленьким в мире квадрупольным масс-спектрометром.
Самое маленькое в мире исполнение системы масс-спектрометрии:
- Самая маленькая и легкая в мире,
- Построена на девяти парах квадруполей,
- Может работать в условиях низкого вакуума (высокого давления) 1,46 Па (11 мТорр),
- Высокая скорость измерения. Скорость сканирования: 0,6 сек/масс. Разрешение: 0,5 AMU. Предел обнаружения: 1х10+8 Па
- Используются съемные и легло заменяемые сенсорные головки,
- Не требует дегазации,
- Возможность соединения с фланцем CF35,
- Доступны различные графические режимы для анализа остаточного газа.
Принцип измерения:
Анализатор остаточного газа включает в себя ионный источник, масс-спектрометр и измерительную часть.Остаточный газ ионизируется при столкновении с разряженными термо-электронами, испускаемыми высокотемпературной нитью. Образующиеся при этом ионы ускоряются и собираются в масс+спектрометре. В масс-спектрометре постоянное и переменное напряжение подается на четыре цилиндрических электрода(квадруполь), которые разделяют ионы по массе. Разделенные ионы определяются, как электрический ток в чаше Фарадея. Ионный ток пропорционален массе (парциальному давлению) остаточного газа.
Анализатор MicroPole™
Характеристики, которыми обладает анализатор остаточных газов Micropole™, обеспечиваются уникальным анализатором MicroPole™ (MPA), состоящий из девяти квадруполей, которые включают в себя все преимущества технологии обработки ультра прецизионным оптическим травлением и технологии стыков стекло/металл.Развитие MPA позволило создать самый маленький в мире анализатор остаточного газа с похожей или лучшей чувствительностью по сравнении с традиционными и большими масс+спектрометрами. Сенсорный блок анализатора уже откалиброван под парциальное давление, и позволяет получить полное абсолютное и парциальные давления остаточных газов.
В нашей компании вы можете выбрать и купить испарители и газоанализаторы, узнать характеристики и подобрать модель, исходя из вашего технического задания. Актуальная цена на вакуумное оборудование предоставляется по запросу. Свяжитесь с нами любым удобным для вас способом.
