Зачем нужен танталовый катод
В серии NP один из двух титановых катодов заменён танталовым. При бомбардировке тантала образуются энергичные нейтральные частицы; они внедряются в участки, менее подверженные повторному распылению. Это уменьшает нестабильность при откачке инертных газов.
