Насосы серии SDE производительностью от 1300 до 30000 л/мин используются в тех приложениях, где необходима откачка коррозионных газов. Насосы этой серии основаны на комбинации вертикального винтового и многоступенчатого насоса Рутса. Винтовой компрессор имеет два винтовых ротора. Один ротор имеет правую резьбу, а другой — левую. Оба ротора вращаются внутри корпуса без трения с минимальным прецизионным зазором, не требующим смазки.
Вертикальный дизайн насосов Kashiyama обеспечивает лучшее вакуумное уплотнение. Для обеспечения надежной откачки коррозионных газов ротор и корпус насоса выполнены из сплава никеля. Насосы серии SDE прошли успешное испытание в «тяжелых» условиях процесса химического осаждения паров нитрида титана (CVD, Ti Nitride) на установке «Centura» производства компании Applied Materials (США). Срок работы насосов других известных производителей ограничивался 1-2 месяцами. В результате, они были заменены насосами серии SDE, которые работают в этой установке непрерывно уже 9000 часов по настоящее время.
Основные преимущества насосов этой серии:
- надежность в реальных условиях эксплуатации;
- полное отсутствие загрязнений откачиваемого объема;
- коррозионная стойкость — модели с пониженной внутренней температурой до 150С для W-СVD и др. процессов, чтобы избежать прилипания остаточных продуктов nпроцесса на рабочих поверхностях;
- двигатель постоянного тока, вследствие чего производительность насоса не зависит от изменения частоты питающего напряжения.