Безмасляные насосы серии NeoDry с воздушным охлаждением

Основными преимуществами насосов этой серии являются:

• Уменьшенные шум и вес
• Уменьшенная площадь основания
• Простота установки – не требуется вода или азот
• Применимы для откачки паров воды

Насосы серии SDE производительностью от 1300 до 30000 л/мин используются в тех приложениях, где необходима откачка коррозионных газов. Насосы этой серии основаны на комбинации вертикального винтового и многоступенчатого насоса Рутса. Винтовой компрессор имеет два винтовых ротора. Один ротор имеет правую резьбу, а другой — левую. Оба ротора вращаются внутри корпуса без трения с минимальным прецизионным зазором, не требующим смазки. 

 Вертикальный дизайн насосов Kashiyama обеспечивает лучшее вакуумное уплотнение. Для обеспечения надежной откачки коррозионных газов ротор и корпус насоса выполнены из сплава никеля. Насосы серии SDE прошли успешное испытание в «тяжелых» условиях процесса химического осаждения паров нитрида титана (CVD, Ti Nitride) на установке «Centura» производства компании Applied Materials (США). Срок работы насосов других известных производителей ограничивался 1-2 месяцами. В результате, они были заменены насосами серии SDE, которые работают в этой установке непрерывно уже 9000 часов по настоящее время. 

Основные преимущества насосов этой серии:

• надежность в реальных условиях эксплуатации; 
• полное отсутствие загрязнений откачиваемого объема; 
• коррозионная стойкость — модели с пониженной внутренней температурой до 150С для W-СVD и др. процессов, чтобы избежать прилипания остаточных продуктов nпроцесса на рабочих поверхностях;
• двигатель постоянного тока, вследствие чего производительность насоса не зависит от изменения частоты питающего напряжения.

Насосы серии SDL — это комбинация базового и бустерного насосов Рутса высокой производительности.

Преимущества:

• Полностью безмасляная откачка
• Уплотнение вала и подшипники не контактируют с откачиваемым объемом
• Полное отсутствие загрязнений откачиваемого объема
• Надежность в эксплуатации
• Система газонапуска
• 8000 часов до первого обслуживания
• Малая вибрация и шум

В 2016 году вся линейка насосов MU была модернизирована и осовременена, получив новое обозначение MU-X и MU-P. Если насосы с обозначением MU-X от предыдущей модификации отличаются меньшим электропотреблением и требованием к инженерным коммуникациям то насосы с индексом MU-P, по сути, стали отдельным типом. Эти насосы предназначены для работы в более тяжелых условиях с конденсирующимися и коррозионными газами. Они могут быть использованы в более широком списке приложений.

Так же в линейки появился новый насос MU180Х прекрасно дополнивший всю серию и ставший промежуточным вариантом по скорости откачки (3000 л/мин) между MU100Х (1660 л/мин) и MU300Х (5000 л/мин). Модификация MU180P послужила основой для появления еще двух насосов MU1218P и MU20M18P. Благодаря этим насосам увеличилась производительности с 20000 л/мин до 30000 л/мин.

Насос основан на принципе двухроторного пятиступенчатого насоса Рутса предварительной откачки и бустерного насоса Рутса. Между вращающимися лопастями роторов поддерживается прецизионный зазор, который позволяет создавать достаточное вакуумное уплотнение без масляной пленки.

Основными преимуществами насосов этой серии, в сравнении с аналогичной продукцией других известных производителей, являются:

• полное отсутствие загрязнений откачиваемого объема;
• низкая стоимость;
• компактность (на 50% меньше);
• малый вес (на 50% легче);
• малое энергопотребление;
• малая вибрация и шум;
• может применяться в больших приложениях. 

В конструкции насоса предусмотрен порт для продувки сухим азотом или другим инертным газом, а так же система прогрева корпуса, что позволяет использовать насосы во многих приложениях с содержанием конденсирующих газов и коррозионно-активных примесей (за исключением MU-Х).