Безмасляные scroll-насосы
Сухие спиральные насосы для чистой форвакуумной и низковакуумной откачки: серия ISP для среднего вакуума, модель SDM-320 с пониженными вибрациями и шумом, DVSL для процессов с повышенным содержанием водяного пара и GVS для низковакуумных технологических задач. Подбираем модель по требуемому давлению, производительности, составу газа, режиму работы и интерфейсам вакуумной системы.
Технология
В спиральном насосе газ последовательно перемещается и сжимается между неподвижной и орбитально движущейся спиралями. Вакуумируемый газ не контактирует с рабочим маслом, поэтому насосы подходят для процессов, где критично исключить масляный туман и обратную диффузию масла в вакуумную систему.
Аналитические приборы, течеискатели, форвакуум турбомолекулярных насосов, нанесение покрытий, научные установки, газовые контуры и другие системы, где загрязнение маслом ухудшает результат процесса или усложняет обслуживание.
Линейка ANEST IWATA
Выбор следует начинать не с максимальной производительности, а с требуемого диапазона давления, допустимых вибраций и шума, количества водяного пара и характера процесса. ISP, SDM-320, DVSL и GVS решают разные задачи и не являются прямыми заменами друг друга.
Средний вакуум и чистые форвакуумные системы.
Средний вакуум для чувствительного аналитического и исследовательского оборудования.
Средний и низкий вакуум для процессов с водяным паром.
Низковакуумные процессы с высокой производительностью.
Сравнение
Ниже — актуальная структура модельного ряда производителя. Значения скорости откачки приведены для 50/60 Гц. На мобильных устройствах таблицу можно прокручивать горизонтально. Предельное давление и конструктивное исполнение следует подтверждать по спецификации выбранной модификации.
| Модель | Серия | Откачка, л/мин 50 / 60 Гц |
Предельное давление | Ключевая особенность | Типовая зона применения |
|---|---|---|---|---|---|
| ISP-50 | ISP | 50 / 60 | ≤ 20 / ≤ 15 Па | Компактная модель | Приборы, лаборатории, небольшие вакуумные системы |
| ISP-90 | ISP | 90 / 108 | ≤ 5 Па | Форвакуум средней производительности | Течеискатели, TMP, аналитические установки |
| ISP-250C | ISP | 250 / 300 | ≤ 1,6 Па | Универсальное C-исполнение | Научные и технологические вакуумные системы |
| ISP-250E | ISP | 250 / 300 | ≤ 1,6 Па | Сниженная утечка относительно C-типа | Системы с более жёсткими требованиями к фону |
| ISP-500C | ISP | 500 / 600 | ≤ 1 Па | Высокая производительность | Крупные форвакуумные и технологические системы |
| ISP-500C-T | ISP | 500 / 600 | ≤ 1 Па | Leak-tight исполнение | Высокоточные вакуумные контуры |
| ISP-1000E | ISP | 1000 / 1200 | ≤ 1 Па | Максимальная производительность ISP | Крупные камеры и системы откачки |
| SDM-320 | SDM | 315 / 380 | ≤ 3 Па | Сниженные шум и вибрации, увеличенный интервал обслуживания | SEM, анализаторы, экспериментальные установки, ускорители |
| DVSL-100C-B | DVSL | 100 / 120 | ≤ 50 Па | Работа с водяным паром | Дегазация, сушка, регенерация |
| DVSL-100C-HCB | DVSL | 100 / 120 | ≤ 50 Па | Hard Coat, повышенная износостойкость | Интенсивные влажные процессы |
| DVSL-500E | DVSL | 433 / 516 | ≤ 30 Па | Силиконовый backup-материал | Сушка, дегазация, транспорт, leak test |
| DVSL-501E | DVSL | 433 / 516 | ≤ 100 Па | Фторэластомерный backup-материал | Процессы с требованиями к материалам уплотнений |
| DVSL-501E-HC | DVSL | 433 / 516 | ≤ 100 Па | Фторэластомер + Hard Coat | Влажные процессы с повышенной нагрузкой |
| DVSL-1002E | DVSL | 863 / 1024 | ≤ 30 Па | Пакетное исполнение на колёсах | Высокопроизводительная сушка и дегазация |
| GVS-250 | GVS | 208 / 255 | ≤ 750 Па | Компактный низковакуумный насос | Вакуумное формование, транспорт, упаковка |
| GVS-500E | GVS | 432 / 512 | ≤ 500 Па | Силиконовый backup-материал | Низковакуумные производственные процессы |
| GVS-501E | GVS | 432 / 512 | ≤ 500 Па | Фторэластомерный backup-материал | Низковакуумные процессы с иными требованиями к уплотнениям |
| GVS-1000E | GVS | 860 / 1031 | ≤ 500 Па | До 500 г/сут водяного пара с Air Flash* | Крупные низковакуумные технологические линии |
* Значение обработки водяного пара для GVS-1000E указано производителем для режима Air Flash при заданных условиях. Для постоянной работы с влажным газом требуется проверить состав опций и рекомендации по отводу конденсата.
Основные параметры, влияющие на интеграцию в форвакуумную и приборную систему.
| Модель | Откачка, л/мин 50 / 60 Гц |
Предельное давление | Утечка, Па·м³/с | Air Flash / H₂O | Двигатель | Вход / выход | Масса |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ISP-50 | 50 / 60 | ≤ 20 / ≤ 15 Па | ≤ 1×10⁻⁷ | 4 л/мин / до 3 г/сут | 0,1 кВт, 1 фаза | NW25 / NW16 | ≈ 12 кг |
| ISP-90 | 90 / 108 | ≤ 5 Па | ≤ 1×10⁻⁵ | 9 л/мин / до 5 г/сут | 0,15 кВт, 1 фаза | NW25 / NW16 | ≈ 14 кг |
| ISP-250C | 250 / 300 | ≤ 1,6 Па | ≤ 1×10⁻⁵ | 10 л/мин / до 25 г/сут | 0,4 кВт, 1/3 фазы | NW25 / NW16 | ≈ 23–25 кг |
| ISP-250E | 250 / 300 | ≤ 1,6 Па | ≤ 1×10⁻⁷ | 10 л/мин / до 25 г/сут | 0,4 кВт, 1/3 фазы | NW25 / NW16 | ≈ 23–25 кг |
| SDM-320 | 315 / 380 | ≤ 3 Па | ≤ 1×10⁻⁵ | 10 л/мин / до 25 г/сут | 0,4 кВт, 3 фазы | NW25 / NW25 | ≈ 37 кг |
| ISP-500C | 500 / 600 | ≤ 1 Па | ≤ 1×10⁻⁵ | 10 л/мин / до 25 г/сут | 0,6 кВт, 1/3 фазы | NW40 / NW25 | ≈ 38–44 кг |
| ISP-500C-T | 500 / 600 | ≤ 1 Па | ≤ 1×10⁻⁷ | 10 л/мин / до 25 г/сут | 0,6 кВт, 1/3 фазы | NW40 / NW25 | ≈ 38–44 кг |
| ISP-1000E | 1000 / 1200 | ≤ 1 Па | ≤ 1×10⁻⁵ | 10 л/мин / до 25 г/сут | 1,4 кВт, 3 фазы | NW40 / NW40 | ≈ 68 кг |
Для ISP-250C/E и ISP-500C/C-T масса зависит от однофазного или трёхфазного исполнения и ориентации компоновки. Все перечисленные модели используют воздушное охлаждение.
Подбор
Максимальная скорость откачки сама по себе не определяет результат. Для устойчивой работы системы необходимо одновременно проверить давление, газовую нагрузку, влажность, соединения и режим эксплуатации.
Для форвакуумной поддержки высоковакуумного насоса обычно рассматривают ISP. Для низковакуумного процесса зачастую рациональнее GVS.
Скорость 50–1200 л/мин должна оцениваться вместе с объёмом камеры, проводимостью трубопровода и реальной газовой нагрузкой.
При сушке, дегазации и влажном газе серия DVSL обычно является более подходящей отправной точкой, чем стандартная ISP.
Если важен низкий собственный leak-rate, следует отдельно сравнивать ISP-250E и ISP-500C-T со стандартными C-исполнениями.
Проверяем NW/Rc-соединения, одно- или трёхфазное питание, токи двигателя, габариты и доступ к сервисным зонам.
Непрерывная работа, частые циклы атмосфера–вакуум, частота запусков и длительность влажного режима влияют на исполнение и сервисный интервал.
Применения
Матрица ниже — инженерная отправная точка, а не автоматический выбор конкретной модели. Итоговый насос подбирается после проверки требуемого давления и газовой нагрузки.
Чистая откачка без масляной обратной диффузии; скорость выбирается по допустимому форвакуумному давлению и газовому потоку TMP.
Низкий фон, отсутствие масляного загрязнения и компактная интеграция.
Форвакуумная ступень для чистых технологических процессов и высоковакуумных систем.
Водяной пар становится одним из ключевых факторов выбора, поэтому требуется влагостойкое исполнение и корректный отвод конденсата.
При необходимости стабильного низкого вакуума без требований порядка единиц паскалей рационально рассматривать GVS.
Выбор зависит от давления, чистоты газа, допустимой утечки и требований к материалам газового тракта.
Интеграция
Для сложных задач важен не только насос, но и проводимость магистрали, клапаны, датчики, автоматика, требования турбомолекулярного насоса и логика безопасного запуска.
Для выбора конкретного исполнения используем актуальные спецификации производителя. Регламент обслуживания зависит от серии, условий эксплуатации и нагрузки. Для ряда моделей производитель указывает сервисный цикл порядка 8 000 часов или одного года, но фактический объём работ определяется состоянием оборудования.
Если требуется готовый откачной модуль, «Криосистемы» проектирует и комплектует индивидуальные вакуумные откачные посты с насосами, арматурой, измерением и управлением.
FAQ
Передайте параметры процесса или техническое задание. Проверим требуемую производительность, давление, газовую нагрузку и интерфейсы, после чего предложим подходящую серию, модель и состав поставки.
