ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА SHIMADZU

Турбомолекулярные насосы

Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе производства японской компании SHIMADZU для эксплуатации в научных, технологических и производственных вакуумных системах.

Турбомолекулярный насос на магнитном подвесе

Турбомолекулярные насосы SHIMADZU

Представлен модельный ряд уникальных турбомолекулярных насосов (ТМН) на магнитном подвесе производства японской компании SHIMADZU. Насосы разработаны для эксплуатации в различных производственных условиях и сочетают турбомолекулярную и захватывающую ступени.

190–5300 л/с диапазон скоростей откачки по N₂

13,7 года среднее время наработки на отказ MTBF

25–100% диапазон плавной регулировки производительности

5–18 мин время запуска в зависимости от модели

Модельный ряд турбомолекулярных насосов

SHIMADZU

Стандартные модели

Базовые исполнения турбомолекулярных насосов для широкого диапазона вакуумных технологических и исследовательских задач.

Турбомолекулярные насосы для откачки больших потоков газа

ВЫСОКАЯ ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТЬ

Модели для откачки больших потоков газа

Исполнения для процессов с повышенной газовой нагрузкой и необходимостью высокой производительности вакуумной системы.

ЛЕГКИЕ ГАЗЫ

Модели с высокой степенью сжатия

Специальные модели с улучшенными характеристиками при откачке легких газов, в том числе водорода H₂.

Турбомолекулярные насосы с интегрированным контроллером

ИНТЕГРИРОВАННОЕ УПРАВЛЕНИЕ

Модели с интегрированным контроллером

Компактные исполнения с интегрированными средствами управления и контроля рабочих параметров насосной системы.

Преимущества ТМН SHIMADZU

Высокая надежность: среднее время наработки на отказ MTBF составляет 13,7 года в условиях реальной эксплуатации.

Сочетание захватывающей и турбомолекулярной ступеней обеспечивает высокую степень сжатия для N₂ и сверхвысокий предельный вакуум.

Раннее включение при повышенном форвакуумном давлении позволяет использовать насосы совместно с экономичными механическими насосами.

Возможность откачки газов, содержащих мелкодисперсную пыль.

Ротор на магнитной подвеске исключает контактное трение и загрязнение рабочего объема.

Плавная регулировка производительности в диапазоне от 25 до 100%.

Модельный ряд со скоростями откачки по N₂ от 190 до 5300 л/с.

Специальные исполнения с улучшенными характеристиками для откачки легких газов, включая H₂.

Водяное охлаждение для серий LM и LMC и воздушное охлаждение для серий M и MC.

Доступны коррозионностойкие исполнения LMC и MC.

Возможность установки горизонтально и под различными углами.

Время запуска составляет от 5 до 18 минут в зависимости от модели.

Сохранение работоспособности после случайного прорыва атмосферы.

Встроенная защита при случайном отключении электроэнергии.

Коммуникационные интерфейсы RS-232C и RS-485 для дистанционного управления и мониторинга.

Контроллер с функциями диагностики и контроля состояния. Гарантия на оборудование — 12 месяцев.

Области применения

Типовые задачи

Масс-спектрометрия
Электронные микроскопы
Установки анализа структуры поверхности
Гелиевые течеискатели
Ускорители частиц
Имитаторы космического пространства
Процессы плазменного травления
Полупроводниковая имплантация

Стандартный комплект поставки

Турбомолекулярный насос серии LM, M, LMC или MC с входным фланцем ISO или CF.

Фланец подключения механического насоса KF25 или KF40 для насосов большой производительности.

Контроллер — источник питания 50 Гц, 1 фаза, 200–220 В.

Кабель контроля длиной от 3 до 30 м.

Кабель привода электродвигателя длиной от 3 до 30 м, кроме моделей 203, 303 и 403.

Кабель питания длиной 5 м.

Защитный экран.

Для моделей серий M и MC с воздушным охлаждением — кабель вентилятора длиной от 3 до 30 м.

Конструкция турбомолекулярного насоса

Высокочастотный электродвигатель
Разъём для подключения питающего кабеля
Вал
Лопасти ротора
Лопасти статора
Распорки
Радиальные магнитные подшипники
Осевые магнитные подшипники
Посадочные подшипники
Промежуточные сенсоры
Входной фланец
Выходной фланец
Защитная сетка
Патрубок для охлаждающей воды

Работа в области сверхвысокого вакуума

Измерение предельного давления

Достижение давления порядка 10⁻⁹ Па при скорости откачки 800 л/с или выше.

Турбомолекулярный насос для сверхвысокого вакуума

Сверхвысокий вакуум

В исходном примере используется модель насоса TMP-1003LM.

Дистанционное управление

УПРАВЛЕНИЕ И МОНИТОРИНГ

Контроллер с интерфейсами RS-232C и RS-485

Блок питания — контроллер — содержит интерфейсы RS-232C и RS-485, посредством которых возможно включение и выключение насоса, мониторинг основных параметров насоса и вывод данных на монитор компьютера.

К одному компьютеру могут быть подключены до 32 насосов.

RS-232C RS-485 До 32 насосов Мониторинг параметров

Этапы сотрудничества

Шаг 1. Обращение в компанию

Вы можете связаться с нами по телефону, почтой или оставить заявку через форму обратной связи.
Шаг 2. Подбор оборудования

Наши специалисты помогут с выбором необходимого оборудования и комплектующих к нему.
Шаг 3. Заключение договора

После оформляем заказ на доставку оборудования.
Этап 4. Доставка

После оплаты и поступления оборудования осуществляем доставку.

Подбор турбомолекулярного насоса

Наши специалисты помогут подобрать модель, производительность, тип охлаждения, исполнение и комплектующие с учетом параметров вашей вакуумной системы.

Контакты