Турбомолекулярные насосы

Стандартные модели

Модели для откачки больших потоков газа

Модели с высоким степенями сжатия для откачки легких газов

Модели с интегрированным контролем

В этой главе представлен модельный ряд уникальных турбомоле кулярных насосов (ТМН) на магнитном подвесе производства японской компании SHIMADZU. Эти насосы разработаны для эксплуатации в любых производственных условиях.

Преимущества ТМН SHIMADZU

Высокая надежность (среднее время наработки на отказ MTBF = 13,7 лет) в условиях реальной эксплуатации, гарантированная детальной проверкой каждого насоса на заводе в Японии;
Уникальное сочетание захватывающей и турбомолекулярной ступеней обеспечивает высокую степень сжатия 109 и выше для N2 и предельный вакуум 109 Па (1011 торр);
Раннее включение при форвакуумном давлении 24 торр позволяет комбинировать их с недорогими механическими насосами;
Возможность откачки газов, содержащих мелкодисперсную пыль;
Лучшие цены, особенно на модели с большой производительностью;
Ротор на магнитной подвеске, отсутствие любых загрязнений в рабочий объем;
Плавная регулировка производительности от 25% до 100%;
Широкий модельный ряд насосов со скоростями откачки по N2 от 190 л/сек до 5300 л/сек;
Специальные модели с улучшенными характеристиками по откачке легких газов (Н2 )
Выбор моделей с водяным (LM) и воздушным (M) охлаждением, а также коррозионностойких моделей (LMC,MC);
Установка в горизонтальном положении и под любым углом;
Время запуска 518 мин (в зависимости от модели);
Сохранение работоспособности после случайного прорыва атмосферы;
Внутренняя защита от случайного выключения электроэнергии;
Коммуникационная связь через последовательные порты RS232C, RS485;
Контроллер, снабженный функциями быстрой диагностики проблем и функций состояния; • Гарантия на все оборудование 12 месяцев.

Области применения:

Масс спектрометрия
Электронные микроскопы
Установки анализа структуры поверхности
Гелиевые течеискатели
Ускорители частиц
Имитаторы космического пространства
Процессы плазменного травления
Полупроводниковая имплантация

Остались вопросы?

Стандартный комплект поставки включает:

Турбомолекулярный насос серии LM, M, LMC или MC с фланцем ISO или CF; фланец подключения
механического насоса (KF25 или KF40 для больших насосов);
Контроллер (источник питания) 50 Гц /1 фаза/200 220 В;
Кабель контроля длиной от 3 м до 30 м;
Кабель привода электродвигателя длиной от 3 м до 30 м (не требуется для моделей 203, 303, 403);
Кабель питания длиной 5 м;
Защитный экран;
Для моделей с воздушным охлаждением серии М и МС: кабель вентилятора длиной от 3 м до 30 м.

Конструкция насоса

Высокочастотный электродвигатель.
Разьём для поключения питающего кабеля.
Вал.
Лопасти ротора.
Лопасти статора.
Распорки.
Радиальные магнитные подшипники.
Осевые магнитные подшипники.
Посадочные подшипники.
Промежуточные сенсоры.
Входной фланец.
Выходной фланец.
Защитная сетка.
Патрубок для охлаждающей воды.

Измерение предельного давления

(Достижение 109 Ра при скорости откачки 800 л/с или выше)

Сверхвысокий вакуум

(Модель насоса: TMP1003LM)

Дистанционное управление

Блок питания (контроллер) содержит интер фейсы RS232C и RS485, посредством которых возможно включение/выключение насоса, мониторинг основных параметров насоса и вывод данных на монитор компьютера. К одному компьютеру могут быть подключены 32 насоса.