Предназначены для установки в технологические, передаточные или загрузочные камеры. Обеспечивают наибольшую скорость откачки водяных паров благодаря большой площади поверхности.
Характеристики внутрикамерных "In Situ" насосов OnBoard Waterpumps
Для моделей внутрикамерных насосов скорость откачки пропорциональна площади фронтальной поверхности криопанели с коэффициентом 14,88 л/с/см2. К примеру, производительность 14400л/с может быть получена с криопанелью размерами 25,4 х 38,1 см.
