КРИОНАСОСЫ POLYCOLD

Крионасосы PFC

Системы для быстрого цикла криооткачки водяного пара, увеличивающие производительность существующей вакуумной системы и сокращающие время достижения высокого вакуума.

Крионасосы серии PFC

Криогенная откачка водяного пара PFC

Насосы серии PFC предназначены для быстрого цикла криооткачки водяного пара. Они увеличивают производительность существующей системы вакуумной откачки от 20 до 100% и улучшают качество наносимых покрытий.

25–75% сокращение времени достижения высокого вакуума

50 000–200 000 л/с быстрота действия по парам воды

20–100% увеличение выхода готового продукта

< 7 мин время отогрева крионасоса

Преимущества крионасосов PFC

Сокращение времени достижения высокого вакуума на 25–75%.

Быстрота действия по парам воды: от 50 000 до 200 000 л/с.

Увеличение выхода готового продукта от 20 до 100%.

Типичный срок окупаемости менее 1 года.

Более низкое парциальное давление водяного пара для более высокого качества пленок, лучшей адгезии и большей воспроизводимости напыления.

Лучшее соотношение цена/производительность по сравнению со змеевиками, охлаждаемыми жидким азотом, типа Meissner.

Принцип работы PFC

Криогенное вымораживание

Высокоскоростной цикл криооткачки

PFC конденсирует водяной пар на поверхности, охлаждаемой до криогенных температур, и устанавливает криозмеевик непосредственно в рабочей камере.

Быстрый рабочий цикл

Крионасос PFC начинает эффективно откачивать водяной пар через несколько минут после старта и может быть отогрет менее чем за 7 минут. Это позволяет увеличить число рабочих циклов за смену.

Криоконденсация

Используя запатентованный Polycold процесс криогенного вымораживания, PFC конденсирует водяной пар на охлаждаемой до криотемператур поверхности, например криозмеевике.

Криозмеевик внутри камеры

Криозмеевик крепится непосредственно в рабочей камере, поэтому эффективная скорость откачки не ограничивается затворами, клапанами, трубопроводами и экранами. Высоковакуумный затвор не требуется.

Гибкое управление

Блок управления позволяет управлять насосом с панели или дистанционно. Доступны исполнения для двух криозмеевиков либо сочетания криозмеевика и криоловушки.

Как выбрать размер крионасоса PFC

Размер крионасоса зависит от требуемой скорости откачки водяного пара и объема вакуумной камеры, в которой может быть установлен криозмеевик. Чем больше криозмеевик, тем выше скорость откачки. Для сокращения времени откачки на 25–75% рекомендуется увеличить общую скорость откачки паров воды примерно в четыре раза по сравнению с эффективной скоростью уже имеющихся средств. Предварительный выбор модели и площади поверхности криозмеевика уточняется с учетом требуемой температуры, холодопроизводительности и дополнительных источников тепловой нагрузки.

Основные компоненты крионасоса

1. Криозмеевик

Конструируется для установки в конкретной вакуумной камере на основе информации заказчика либо может быть спроектирован заказчиком самостоятельно. Типичные формы — спираль, серпантин и другие простые конфигурации. Криопанели не рекомендуются из-за большей массы, замедляющей захолаживание и отогрев, и неэффективности стороны, обращенной к стенке камеры.

2. Холодный вакуумный ввод

Обеспечивает тепловую изоляцию между трубками входа/выхода хладагента и вакуумным уплотнением. Для двух трубок требуется отверстие диаметром 25 или 51 мм в вакуумной камере.

3. Холодные линии подачи и возврата хладагента

Соединяют крионасос с холодным вводом и изготавливаются из медных трубок с фитингами из нержавеющей стали. Стандартная длина линий — 2,5 м. Более длинные линии выполняются на заказ.

Конфигурации моделей PFC

Стандартный вариант PFC

Заводская заправка охладителем.
Электронный контроль для остановки отогрева.
Модуль ручного управления.
Разъем для подключения дистанционного управления.
Интерфейс ~24 В; изолированный интерфейс — по запросу.

Комбинация опций PFC и P

Включает все стандартные функции PFC.
PFC/P обычно применяется для температурного цикла встроенного криозмеевика и постоянного охлаждения холодной ловушки.
Криозмеевик может находиться в режиме охлаждения или отогрева, пока ловушка остается холодной.
Холодопроизводительность может распределяться в пропорциях 1/2:1/2 или 2/3:1/3 между двумя контурами.

Когда один криозмеевик находится в циклическом режиме, температура ловушки или другого криозмеевика может изменяться на 1–10 °C.

Комбинация PFC/PFC

Включает все стандартные функции PFC.
Две криоповерхности — два криозмеевика, змеевик и ловушка либо две ловушки — могут охлаждаться или отогреваться независимо.
Общая холодопроизводительность может распределяться в пропорциях 1/2:1/2 или 2/3:1/3 между двумя контурами.

При циклическом режиме одного криозмеевика температура второй криоповерхности может изменяться на 5–10 °C.

Рабочие зависимости

Зависимость скорости откачки PFC от давления

Зависимость скорости откачки от давления

Зависимость средней температуры криоповерхности от тепловой нагрузки

Оптимальная температура для откачки водяного пара

Для определения оптимальной температуры криоповерхности найдите максимальное основное давление вашей системы в таблице. Указанная температура обеспечивает приблизительно 90% эффективности откачки водяного пара.

Парциальное давление и требуемая температура криоповерхности

Давление, Торр	Давление, мбар	Температура, °C
5 × 10⁰	6,7 × 10⁰	−25,4
2 × 10⁰	2,7 × 10⁰	−34,4
1 × 10⁰	1,3 × 10⁰	−40,8
5 × 10⁻¹	6,7 × 10⁻¹	−46,8
2 × 10⁻¹	2,7 × 10⁻¹	−54,3
1 × 10⁻¹	1,3 × 10⁻¹	−59,7
5 × 10⁻²	6,7 × 10⁻²	−64,8
2 × 10⁻²	2,7 × 10⁻²	−71,2
1 × 10⁻²	1,3 × 10⁻²	−75,8
5 × 10⁻³	6,7 × 10⁻³	−80,1
2 × 10⁻³	2,7 × 10⁻³	−85,6
1 × 10⁻³	1,3 × 10⁻³	−89,6
5 × 10⁻⁴	6,7 × 10⁻⁴	−93,4
2 × 10⁻⁴	2,7 × 10⁻⁴	−98,2
1 × 10⁻⁴	1,3 × 10⁻⁴	−101,6
5 × 10⁻⁵	6,7 × 10⁻⁵	−104,9
2 × 10⁻⁵	2,7 × 10⁻⁵	−109,1
1 × 10⁻⁵	1,3 × 10⁻⁵	−112,2
5 × 10⁻⁶	6,7 × 10⁻⁶	−115,1
2 × 10⁻⁶	2,7 × 10⁻⁶	−118,1
1 × 10⁻⁶	1,3 × 10⁻⁶	−121,5
5 × 10⁻⁷	6,7 × 10⁻⁷	−124,1
2 × 10⁻⁷	2,7 × 10⁻⁷	−127,5
1 × 10⁻⁷	1,3 × 10⁻⁷	−129,9
5 × 10⁻⁸	6,7 × 10⁻⁸	−132,2
2 × 10⁻⁸	2,7 × 10⁻⁸	−135,2
1 × 10⁻⁸	1,3 × 10⁻⁸	−137,3
5 × 10⁻⁹	6,7 × 10⁻⁹	−139,5
2 × 10⁻⁹	2,7 × 10⁻⁹	−142,1
1 × 10⁻⁹	1,3 × 10⁻⁹	−144,1

Технические характеристики

Основные параметры моделей

Характеристика	PFC552HC	PFC672HC
Максимальная нагрузка, Вт	1000	1500
Теоретическая максимальная скорость откачки, л/с	74 500	104 300
Действительная скорость откачки в камере, л/с	50 000	70 000
Минимальное давление, Торр	6 × 10⁻⁹	2 × 10⁻⁹
Максимальное начальное давление, атм	1,0	1,0
Время отогрева, мин	4,0	4,0

Криозмеевик и холодные линии

Характеристика	PFC552HC	PFC672HC
Общая площадь поверхности криозмеевика, м²	0,5	0,7
Простой контур PFC — диаметр трубки, мм	12	16
Простой контур PFC — длина трубки, м	13,3	14
Двойной контур PFC/PFC — диаметр трубки, мм	10	—
Двойной контур PFC/PFC — длина трубки одного змеевика, м	6,6	9,3
Стандартная длина холодной линии, м	2,44	2,44

Охлаждающая вода и питание сети переменного тока

Характеристика	PFC552HC	PFC672HC
Расход охлаждающей воды при 13 °C, л/мин	4,9	6,8
Расход охлаждающей воды при 26 °C, л/мин	12,3	17,3
Расход охлаждающей воды при 29 °C, л/мин	19,7	27,6
Потребляемая мощность при максимальной нагрузке, кВт	6,0	8,3
Номинальные требования к сети питания, В / число фаз / Гц	200/3/50–60 230/3/60 380/3/50 400/3/50 460/3/60 480/3/60 575/3/60	200/3/50–60 230/3/60 380/3/50 400/3/50 460/3/60 480/3/60 575/3/60

Производственные характеристики

Характеристика	PFC552HC	PFC672HC
Максимальный уровень шума, дБ	72	71
Минимальный объем помещения, м³	13	16

Этапы сотрудничества

Шаг 1. Обращение в компанию

Вы можете связаться с нами по телефону, почтой или оставить заявку через форму обратной связи.
Шаг 2. Подбор оборудования

Наши специалисты помогут с выбором необходимого оборудования и комплектующих к нему.
Шаг 3. Заключение договора

После оформляем заказ на доставку оборудования.
Этап 4. Доставка

После оплаты и поступления оборудования осуществляем доставку.

Подбор крионасоса PFC

Наши специалисты помогут подобрать модель, площадь криозмеевика и конфигурацию системы под объем камеры, требуемую скорость откачки и тепловую нагрузку.

Контакты