MaxCool 2500 L
MaxCool 4000 H
Крионасосы MaxCool производства Polycold – криогенные системы охлаждения с замкнутым циклом, обеспечивающие до 2500 Вт либо 4000 Вт (в зависимости от модели) отводимой мощности. Предназначены для откачки паров воды и других конденсирующихся сред намораживанием их на криоповерхность, к примеру, криозмеевик или криоловушку.
Крионасосы MaxCool также используются для охлаждения и нагрева объектов, таких как электростатические держатели, применяющиеся в производстве полу проводниковых пластин.
Крионасосы Polycold MaxCool эффективно откачивают водяной пар, увеличивая производительность существующей системы вакуумной откачки от 20 до 100% и улучшая качество наносимых покрытий.
Преимущества крионасосов MaxCool:
- Сокращение времени достижения высокого вакуума на 25-75%;
- Высокоскоростная откачка водяного пара: от 10 000 до 220 000 л/с в рабочей области;
- Увеличение выхода готового продукта от 20 до 100%;
- Более низкое парциальное давление водяного пара для высокого качества пленок, лучшей адгезии и большей воспроизводимости нанесения;
- Лучшее соотношение цена/производительность по сравнению со змеевиками, охлаждаемыми жидким азотом, типа Meissner;
- Снижение эксплуатационных расходов, благодаря возможности управления энергопотреблением;
- Высокая мощность охлаждения и обогрева для большого разнообразия процессов.
При установке в вакуумную систему, крионасос MaxCool может резко уменьшить время откачки и повысить выход продукции. Откачка паров происходит в течение считанных минут после старта, время отогрева – менее четырех минут.
Используя запатентованные смеси хладагентов, MaxCool работает по принципу ловушки Мейснера. Водяной пар конденсируется на охлажденной до криогенных температур поверхности. Она устанавливается прямо в вакуумную камеру, чтобы проводимость не ограничивалась фланцами, сильфонами, клапанами и перегородками. Не требует высоковакуумного клапана или затвора.
Криоохладители MaxCool – наиболее выгодное решение для модернизации вакуумной системы, откачиваемой диффузионными, турбомолекулярными или криогенными насосами.
