Насосы on-board

Несмотря на способность откачки крионасосом огромного количества газа он должен в конечном итоге регенерироваться для удаления сконденсированных газов и восстановления откачных характеристик на необходимом уровне. Процесс регенерации может занимать до 5 часов полезного времени. За счет нагрева криопанелей крионасоса OnBoard® и улучшенного контроля системы время полной регенерации сокращается от половины до одной трети времени традиционной регенерации (насосы CryoTorr®). Кроме того, функция "быстрой" регенерации FastRegen® позволяет еще больше сократить время регенерации. В этом режиме регенерируется только вторая ступень крионасоса, которая обычно насыщается значительно быстрее первой.

Каждый крионасос On-Board® обеспечивает устойчивое поддержание уровня вакуума, даже если технологический процесс в камере протекает нестабильно. Для этого введен автоматический контроль температуры первой ступени крионасоса. В процессах напыления, в частности, при отсутствии такого контроля, температура первой ступени может опускаться до 40К. Это приводит к конденсации на ней рабочего газа аргона, который затем выделяется при более низких давлениях и препятствует откачке других газов, что приводит к повышению давления в камере.

С целью своевременного сервисного обслуживания и ремонта, в крионасосы On-Board® интегрируют контроллеры с функцией дистанционной передачи данных о работе насоса, таких как давление, температура и др. Эти данные могут передаваться, как на локальный компьютер, так и при подключении через сеть Интернет передаваться и обрабатываться в центре мониторинга. Основываясь на результатах многомесячного мониторинга, сервисный центр может своевременно отследить тенденцию к ухудшению работы крионасоса и уведомить пользователя о необходимости профилактических или сервисных работ до того, как насос потеряет свою работоспособность.