CTI Cryogenics

Насосы ON-BOARD CTI Cryogenics

Крионасосы серии On-Board® компании CTI Cryogenics являются родоначальниками нового направления в области получения вакуума, продолжающегося и по сей день — автоматизации и оптимизации всех режимов работы без участия оператора. Крионасосы On-Board® также характеризуются быстрой регенерацией, которая существенно уменьшает простой оборудования между производственными циклами. Они были первыми насосами с усовершенствованным контролем температуры, для улучшения согласованности быстроты откачки и высокой производительности. Встроенная в них электроника, также впервые, дала возможность дистанционного управления и контроля насосов, расположенных в различных точках мира.

Особенности серии On-Board®

Быстрая регенерация

Несмотря на способность откачки крионасосом огромного количества газа он должен в конечном итоге регенерироваться для удаления сконденсированных газов и восстановления откачных характеристик на необходимом уровне. Процесс регенерации может занимать до 5 часов полезного времени. За счет нагрева криопанелей крионасоса On-Board® и улучшенного контроля системы время полной регенерации сокращается от половины до одной трети времени традиционной регенерации (насосы Cryo-Torr®). Кроме того, функция "быстрой" регенерации FastRegen® позволяет еще больше сократить время регенерации. В этом режиме регенерируется только вторая ступень крионасоса, которая обычно насыщается значительно быстрее первой.

Обеспечение устойчивого уровня вакуума

Каждый крионасос On-Board® обеспечивает устойчивое поддержание уровня вакуума, даже если технологический процесс в камере протекает нестабильно. Для этого введен автоматический контроль температуры первой ступени крионасоса. В процессах напыления, в частности, при отсутствии такого контроля, температура первой ступени может опускаться до 40К. Это приводит к конденсации на ней рабочего газа аргона, который затем выделяется при более низких давлениях и препятствует откачке других газов, что приводит к повышению давления в камере.

Дистанционный контроль

С целью своевременного сервисного обслуживания и ремонта, в крионасосы On-Board® интегрируют контроллеры с функцией дистанционной передачи данных о работе насоса, таких как давление, температура и др. Эти данные могут передаваться, как на локальный компьютер, так и при подключении через сеть Интернет передаваться и обрабатываться в центре мониторинга. Основываясь на результатах многомесячного мониторинга, сервисный центр может своевременно отследить тенденцию к ухудшению работы крионасоса и уведомить пользователя о необходимости профилактических или сервисных работ до того, как насос потеряет свою работоспособность.

Для систем, состоящих из нескольких крионасосов серии On-Board® и соединенных в одну сеть, регенерацию предпочтительно проводить последовательно. При последовательной координированной регенерации нескольких насосов, эффективность их использования будет значительно выше, нежели, при одновременной регенерации сразу всех насосов.

Крионасосы серии On-Board®

Технические характеристики

Параметр	Ед.	4	4F	8	8F	250F	10	10F	400	500
Конфигурация	—	прямая	плоская	прямая	плоская	плоская	прямая	плоская	прямая	прямая
Входной фланец	—	ISO 100	ISO 100	ISO 200	ISO 200	ISO 250	ISO 320	ISO 320	ISO 400	ISO 500
Быстрая регенерация (типичное значение)	—	1,4 ч	1,4 ч	2,7 ч	2,7 ч	3,3 ч	2,2 ч	2,2 ч	3,8 ч	3,8 ч
Полная регенерация (типичное значение)	—	0,7 ч	0,7 ч	1,0 ч	1,0 ч	1,5 ч	1,0 ч	1,0 ч	1,6 ч	1,6 ч
Вес крионасоса	кг	20	21	25	24	26	43	45	77	111
Быстрота откачки
Вода	л/с	1100	1100	4000	4000	6500	9000	9500	16000	30000
Воздух	л/с	500	370	1500	1500	2200	3000	3600	6000	10000
Водород	л/с	500	370	2500	2200	3200	5000	6000	5000	12000
Аргон	л/с	420	310	1200	1200	1800	2500	3000	5000	8400
Емкость
Водород	Станд. литр	3	3	17	12	16	24	24	42	45
Аргон	Станд. литр	210	210	1000	1000	1000	2000	2000	2500	6000
Параметр включения	Торр-л	100	100	150	150	150	300	300	300	600
Время захолаживания
Время захолаживания	60 Гц	75 мин	75 мин	90 мин	90 мин	100 мин	100 мин	100 мин	150 мин	200 мин
Время захолаживания	50 Гц	90 мин	90 мин	110 мин	110 мин	120 мин	120 мин	120 мин	180 мин	225 мин

Для просмотра всех моделей на небольших экранах таблицу можно прокручивать по горизонтали.

Стандартный комплект поставки крионасоса серии On-Board включает:

Крионасос (с модулем быстрой регенерации или сетевым модулем);
Гелиевый компрессор;
Две гибкие соединительные линии;
Управляющие кабели;
Блок дистанционного управления.

Преимущества

Автоматизация работы

Крионасосы серии On-Board® объединяют автоматический контроль рабочих режимов, ускоренную регенерацию и возможность дистанционного контроля параметров оборудования.

Автоматический контроль рабочих режимов

Ускоренная регенерация

Дистанционный контроль параметров оборудования

Этапы сотрудничества

Шаг 1.Обращение в компанию

Вы можете связаться с нами по телефону, почтой или оставить заявку через форму обратной связи.
Шаг 2. Подбор оборудования

Наши специалисты помогут с выбором необходимого оборудования и комплектующих к нему.
Шаг 3. Заключение договора

После оформляем заказ на доставку оборудования.
Этап 4. Доставка

После оплаты и поступления оборудования осуществляем доставку.