Насосы CRYO-TORR

Криогенные вакуумные насосы серии CryoTorr® надежные и выносливые высоковакуумные насосы, которые стояли у истоков и способствовали бурному развитию современной полупроводниковой промышленности в 80е годы. Сегодня насосы Cryo-Torr® широко применяются в промышленных и лабораторных установках, где качество, надежность и невысокая цена являются основными критериями. Компания CTI Cryogenics была первой, кто одновременно предложил версию крионасоса в "плоской" конфигурации для приложений в компактном исполнении и "прямой" – стандартной конфигурации для традиционных приложений. Насосы серии Cryo-Torr® выпускаются с присоединительным фланцем ISO диаметром от 100 до 500 мм. Они могут также изготавливаться с фланцем ConFlat в конфигурации для сверхвысоковакуумных приложений (UHV). Компания "Криосистемы" предлагает целый ряд различных конфигурации крионасосов серии CryoTorr®, характеристики которых приведены ниже в таблице.


Модель крионасоса		100	4	4F	8	8F	250F	10	10F	400
Конфигурация		прямая	прямая	плоская	прямая	плоская	плоская	прямая	плоская	прямая
Входной фланец		ISO 100	ISO 100	ISO 100	ISO 200	ISO 200	ISO 250	ISO 320	ISO 320	ISO 400
Быстрота откачки
Вода	л/с	1100	1100	1100	4000	4000	6500	9000	9500	16000
Воздух	л/с	350	500	370	1500	1500	2200	3000	3600	6000
Водород	л/с	480	500	370	2500	2200	3200	5000	6000	5000
Аргон	л/с	285	420	310	1200	1200	1800	2500	3000	5000
Емкость
Водород	Станд. литр	2	3	3	17	12	16	24	24	42
Аргон	Станд. литр	90	210	210	1000	1000	1000	2000	2000	2500
Параметр включения	Торр-л	40	100	100	150	150	150	300	300	300
Время захолаживания
	60 Гц	75 мин	75 мин	75 мин	90 мин	90 мин	100 мин	100 мин	100 мин	150 мин
	50 Гц	90 мин	90 мин	90 мин	110 мин	110 мин	120 мин	120 мин	120 мин	180 мин
Вес крионасоса	кг	10	17	17	20	19	22	39	41	73

Остались вопросы?

Выпускаются модели с повышенной емкостью по водороду. Мы также предлагаем полную палитру периферийного оборудования, которым Вы можете комплектовать или дополнять крионасосы Cryo-Torr® , для контроля процессов форвакуумной откачки и регенерации, включая вакуумные клапаны, нагреватели, соленоидные вентили и пр.