Технологии современных полупроводниковых устройств перешли на нанотехнологический уровень. Это означает, что производственные процессы в этой области требуют особо точного контроля газов и жидкостей для создания тонких пленок, а также компактных устройств мониторинга, которые позволяют контролировать процессы, происходящие непосредственно внутри производственной камеры. Цифровые модели регуляторов расхода Horiba протестированы и отобраны сегодня для всех своих производств такими известными производителями полупроводникового оборудования, как Applied Materials (США) и Tokyo Electron (Япония).

Принцип действия:

Массовый расходомер или регулятор расхода газа состоит из детектора, байпаса, клапана и электрической схемы управления. Газ, входящий в РРГ, разделяется на поток, протекающий через детектор и мимо детектора через байпас. В детекторе массовый расход определяется пропорционально изменению температуры, которое через цепь моста преобразуется в электрический сигнал. Этот сигнал затем проходит через усилитель и корректор и выходит в виде линейного напряжения от 0 до 5 В. Тот же самый сигнал попадает в цепь контроля, которая сравнивает его с сигналом заданного расхода и посылает разность сигналов в цепь управления клапаном. Клапан перемещается в направлении уменьшения разности сигналов до нуля. Другими словами РРГ регулирует расход так, чтобы он всегда был равен заданной величине.

Тепловой детектор Horiba STEC состоит из капилляров, вокруг которых обернуты два нагревателя, и цепи электрического моста. При прохождении газа через нагретые капиллярные трубки, возникает разность температур между точками входа и выхода потока. Разница температур с помощью электрического моста преобразуется в сигнал, пропорциональный величине расхода газа. Поскольку проходимость капилляра детектора ограничена его, то большая часть потока проходит через ламинарный байпас с аналогичным перепадом давлений. Рис. 1 показывает, что отношение расходов капилляра и байпаса не зависит от влияния внешних факторов, и точность измерения расхода остается всегда высокой, благодаря прекрасным характеристикам ламинарного байпаса.

Тепловой детектор Horiba STEC состоит из капилляров, вокруг которых обернуты два нагревателя, и цепи электрического моста. При прохождении газа через нагретые капиллярные трубки, возникает разность температур между точками входа и выхода потока. Разница температур с помощью электрического моста преобразуется в сигнал, пропорциональный величине расхода газа. Поскольку проходимость капилляра детектора ограничена его, то большая часть потока проходит через ламинарный байпас с аналогичным перепадом давлений. Рис. 1 показывает, что отношение расходов капилляра и байпаса не зависит от влияния внешних факторов, и точность измерения расхода остается всегда высокой, благодаря прекрасным характеристикам ламинарного байпаса.