Обращение
Свяжитесь с нами по телефону или оставьте запрос на обратную связь.
Проекты ГК «Криосистемы»
Исследовательские установки для высокотехнологичных применений
Безмасляные высоковакуумные системы, термовакуумные установки, лаборатории для реактивных двигателей малой тяги, установки тонкоплёночного осаждения, PLD/ALD/SIMS-комплексы, времяпролётный масс-спектрометр, Nordiko и CVD EasyTube 101.
40 м3
Полезный объём высоковакуумной технологической камеры.
1x10-4 Торр
Рабочее давление менее чем за 20 минут от атмосферного давления.
ТВУ-1,5/2304
Термовакуумная установка с термостолом и автоматизированным управлением.
PLD / ALD / SIMS
Интеграция нескольких установок в единый исследовательский комплекс.
Безмасляная система откачки камеры 40 м3
Система вакуумной откачки, разработанная и смонтированная сотрудниками ГК «Криосистемы», обеспечивает выход установки полезным объёмом 40 м3 с атмосферного на рабочее давление 1x10-4 Торр менее чем за 20 минут.
Форвакуумная система
- Насос форвакуумный винтовой Hanbell PD3012, Ду=200 мм, производительность 50 000 л/мин, производство - Тайвань.
- Насос вакуумный Рутса Kashiyama MU300, производительность 5 000 л/мин, производство - Япония.
- Насос вакуумный спиральный Anest Iwata ISP-90, производительность 90 л/мин, производство - Япония.
Высоковакуумная система и арматура
Высоковакуумная система откачки камеры выполнена на базе турбомолекулярных насосов и криогенного насоса с суммарной производительностью, обеспечивающей требуемое время откачки объёма вакуумной камеры в соответствии с заданием заказчика.
- Турбомолекулярный насос Shimadzu TMP-3304-LM, Ду=320 мм, производительность по азоту 3 200 л/с, производство - Япония.
- Криогенный насос CTI Cryogenics CryoTorr-400, Ду=400 мм, производительность по воде 16 000 л/с, производство - США.
- Вакуумпроводы выполнены из нержавеющей стали.
Вакуумная коммутационная арматура
В проекте использована вакуумная коммутационная арматура производства компании Highlight Tech Corp (HTC): клапаны угловые с пневмоприводом Ду200 мм AVBS-ISO200-P2 и др.; затворы с пневмоприводом Ду320 мм GVBS-SS-ISO320-P; вакуумные адаптеры и фитинги ISO400, ISO320, ISO200, ISO63, ISO-KF 40 и др., а также затвор Ду400 мм производства компании GNB G(ISO400)PSOP (Англия).
Ионный имплантер IMC-200 для НПП «Салют», Нижний Новгород
Производитель: ионный имплантер IMC-200 компании IBS (France). Исходная спецификация перенесена полностью по ключевым пунктам: газовые линии, источники, диапазон энергий и загрузка пластин.
Спецификация
- Газовые линии: Линия 1: (HP) - Neutral; Линия 2: (HP) - BF3; Линия 3: (HP) - Ar; Линия 4: (HP) - N2.
- Источники: 2 x источника ионов типа Freeman.
- Диапазон энергий: 30 кэВ - 200 кэВ для однозарядных ионов.
- Загрузка: ручного типа, 4 пластины на цикл откачки; пластины от 50 до 150 мм.
Фотоматериалы
В исходной странице показаны внешний вид, карусель и источник, а также загрузка пластин на карусель. Эти изображения сохранены в составе общей галереи раздела.
Поставка термовакуумной установки ТВУ-1,5/2304
Раздел сохранён с комплектацией, основными техническими характеристиками и пояснением по термостолу, переходной плите, вакуумной камере и подбору оборудования.
Комплектация ТВУ
- Вакуумная камера с термостолом и комплектующие производства HTC (Тайвань).
- Переходная плита для размещения образцов HTC (Тайвань).
- Турбомолекулярные насосы Shimadzu (Япония).
- Спиральные форвакуумные насосы Anest Iwata (Япония).
- Термостат Huber (Германия).
- Автоматизированная система управления на базе ПЛК Siemens.
- Рама установки производства ГК «Криосистемы».
Основные технические характеристики
- Габариты камеры: диаметр 1500 мм, длина 1500 мм.
- Размер термостола: 900 x 900 мм.
- Предельное остаточное давление - 10-6 Торр.
- Температурный диапазон на термостоле - от -50 до +70 °C.
- Равномерность температуры по поверхности термостола - ±1 °C во всём диапазоне рабочих температур.
- Точность поддержания температуры на поверхности термостола: ±2 °C.
- Время непрерывного испытания: более 256 часов.
- Установка оснащена системой точного поддержания давления в камере и системой терморегулирования.
Термостол и переходная плита для размещения образцов произведены компанией HTC одновременно с вакуумной камерой, что исключает возможность несоответствий, которые могут происходить при производстве камеры за рубежом, а термостола и плиты - в России. Компания HTC имеет большие производственные возможности, и термостолы HTC отличаются высоким качеством и точностью исполнения, что позволяет достичь нужных температурных параметров на термостоле с высокой точностью.
ТВУ укомплектована оборудованием ведущих мировых производителей. В процессе проработки проекта инженеры согласовывали и учитывали технические нюансы, требования и пожелания заказчика. Установка разработана в индивидуальном порядке по ТЗ и максимально адаптирована под конкретные задачи.
Лаборатория по исследованию реактивных двигателей малой тяги
Оборудование лаборатории выполнено в одном из исследовательских центров Москвы. На странице сохранены три этапа работ, поскольку каждый этап описывает отдельную готовую к эксплуатации систему или доработку.
Нашей компанией проведено оборудование исследовательскими вакуумными установками лаборатории в одном из исследовательских центров в области аэрокосмической техники. В данный момент в данной лаборатории установлено две вакуумных установки.
Работы проводились в три этапа, по мере поступления финансирования заказчику и изменения требований к системам по результатам уже проведённых исследований. При этом по завершении каждого этапа заказчик получал завершённые, готовые к эксплуатации системы.
Первый этап
На первом этапе была разработана, изготовлена и запущена в эксплуатацию вакуумная установка для испытаний прототипов ионных двигателей. Вакуумная камера была изготовлена по ТЗ заказчика. В подвальном помещении, находящемся под лабораторией, были установлены система форвакуумной откачки на базе сухого вакуумного насоса Kashiyama MU-1203, чиллер и компрессор для питания пневмосистемы. Форвакуумная линия и прочие коммуникации были протянуты до основной камеры. Для высоковакуумной откачки на камере был установлен криогенный насос CTI Onboard 400.
Управление всей системой откачки автоматизировано и осуществляется с сенсорного монитора, установленного на стойке управления. Предусмотрены режимы автоматической откачки и ручной режим. В ручном режиме с сенсорного экрана осуществляется непосредственное управление каждым элементом системы откачки, но для защиты от ошибочных действий предусмотрены блокировки. Непосредственно под вакуумной камерой было подготовлено место для размещения высоковольтного оборудования заказчика: смонтировано защитное ограждение с обесточиванием высоковольтного оборудования при снятии ограждения.
Второй этап
На втором этапе проведена замена выработавшей ресурс системы откачки на имевшейся в данной лаборатории вакуумной установке. Фактически заменена вся вакуумная система за исключением непосредственно вакуумной камеры. Установлен новый диффузионный насос, заменён высоковакуумный затвор, для форвакуумной откачки в подвальном помещении установлен насос Kashiyama MU-603, смонтирована новая форвакуумная линия.
Форвакуумные линии обеих установок были соединены, что позволяет в случае неисправности одного из насосов использовать один форвакуумный насос на обе установки. В подвальном помещении установлен ещё один чиллер для охлаждения оборудования. Управление данной установкой также автоматизировано, система управления аналогична системе на первой установке. Также установлен дополнительный компрессор и система воздухоподготовки для обеспечения продувки форвакуумных насосов и регенерации крионасоса.
Третий этап
На третьем этапе проведена доработка первой установки. За счёт установки дополнительной секции увеличен объём вакуумной камеры. В связи с увеличением плановой газовой нагрузки установлены дополнительные высоковакуумные насосы - турбомолекулярный и специализированный ксеноновый крионасос. Для съёма тепловой нагрузки в камере установлены водоохлаждаемые экраны. В подвальном помещении установлен чиллер повышенной холодопроизводительности с размещённым на улице внешним блоком. В связи с изменением системы откачки также переработана система управления.
Запуск установки электронно-лучевого осаждения тонких плёнок
Установка изготовлена израильской компанией VST, имеет в составе электронно-лучевой испаритель на 6 карманов, ионную пушку и специальный подложкодержатель с возможностью охлаждения образцов до -30 °C и поворотом образца на угол ±90° по отношению к источнику. Откачка полностью сухая и состоит из криогенного насоса и спирального насоса Anest Iwata.
В настоящее время на установке проведено тестовое осаждение сверхпроводящей плёнки титана, заказчик весьма доволен полученным с первой же попытки результатом.
Интеграция нескольких установок в общий комплекс
В состав комплекса входят установка пульсационно-лазерного осаждения с двумя каналами ввода излучения, магнетроном и RHEED-пушкой, установка атомно-слоевого осаждения, между ними смонтирована установка спектроскопии вторичных ионов. Образец после загрузки в шлюз может быть перемещён в ростовую камеру, а затем нанесённый слой исследован на установке SIMS.
При интеграции были решены задачи по предотвращению загрязнения SIMS при транзите образца и исследовании слоёв, наносимых в ALD.
Времяпролётный масс-спектрометр на вторичных ионах
Задача заказчика: источник плазмы требовал анализа наличия и момента появления высокоэнергетичных ионов. Для нас ставилась задача создания времяпролётного масс-спектрометра для определения относительных интенсивностей положительно заряженных ионов, исходящих из источника плазмы, в диапазоне масс 1-6 a.e.m.
Задачи
- Определение относительных интенсивностей положительно заряженных ионов в диапазоне масс 1-6 a.e.m.
- Измерение энергетического распределения этих ионов.
- Наличие источника ударной электронной ионизации на входе спектрометра для характеризации нейтральных газов в источнике плазмы.
Решение
Созданный масс-спектрометр основан на «ортогональной экстракции ионов» при использовании стандартного рефлектрона. Дизайн выполнен для сверхвысоковакуумного применения с фланцами типа CF.
Краткая спецификация прибора
| Временное разрешение | 0,25 нс |
|---|---|
| Макс. темп подсчёта | >17 000 000 имп/с (теоретически) >4 000 000 имп/с (измерено) |
| Макс. скорость повторения рабочих циклов | >1 МГц (железо) 200 кГц (софт) |
| Мёртвое время между циклами | 36 нс перед циклом и 4 нс после |
| Временная точность | |
| Ожидаемое разрешение | 1300 - 1500 FWHM |
Дополнительные установки и пусконаладочные работы
В исходном материале также сохранены работы по установке Moorfield, установке травления Nordiko и CVD-установке EasyTube 101. Эти блоки перенесены без сокращения технических параметров, указанных в исходнике.
Электронно-лучевое осаждение тонких плёнок Moorfield
Установка изготовлена английской компанией Moorfield, имеет в составе электронно-лучевой испаритель на 6 карманов, специальный подложкодержатель планетарного типа.
Травление ионным пучком Nordiko
Заказчик получил в пользование установку травления ионным пучком английской компании Nordiko. Установка может работать с пластинами до 150 мм в диаметре, имеет загрузочную камеру и водоохлаждаемый столик с опциями вращения образцов вокруг своей оси и поворота столика на угол по отношению к ионному пучку.
Откачка системы полностью сухая и состоит из турбомолекулярного насоса Shimadzu на магнитной подвеске и сухого насоса японской компании Kashiyama.
CVD-установка для синтеза графена EasyTube 101
Заказчик получил в своё пользование CVD-установку для синтеза графена модели EasyTube 101 от компании CVD Equipment Corp (Firstnano).
Установка может работать с образцами 25 x 50 мм; на ней можно получать одно- и многослойные графеновые плёнки, а также проводить осаждение графена на расплаве металла.
Как начинается похожий исследовательский проект
Финальный блок оставлен как путь к заявке, но без подмены основного содержания: сначала сохранены проекты, фото, таблица и характеристики, затем пользователь получает понятный следующий шаг.
Подбор оборудования
Определяем необходимое оборудование и комплектующие, следуем техническому заданию и при необходимости помогаем в разработке вакуумной системы.
Заключение договора
Готовим договор поставки и необходимые документы, согласовываем условия расчётов и оплаты.
Доставка и поддержка
Организуем доставку оборудования в Россию или страны СНГ и поддерживаем заказчика в период эксплуатации.
Нужна исследовательская вакуумная установка под техническое задание?
Опишите задачу, требуемые режимы, объём камеры, давление, температуру, состав оборудования и ограничения площадки. Поможем согласовать решение под ваши требования.