График работы
Обратная связь Связаться с нами


МАГНИТОРАЗРЯДНЫЕ НАСОСЫ

Стандартные диодные насосы

IP серия

Инертные диодные насосы

NP серия

Водородные диодные насосы

HP серия

Триодные

насосы

TP СЕРИЯ

Магниторазрядные (ионные) насосы применяются для получения высокого и свехвысокого вакуума при давлениях ниже 10⁴ Торр. Их основными преимуществами являются отсутствие вибраций и частота полученного вакуума. В этом разделе представлены насосы компании Thermionics, которая разрабатывает и производит магниторазрядные насосы с 1958 года.

Компания Thermionics производит следующие серии магниторазрядных насосов:

  • Стандартные диодные насосы (IP серия).
  • Инертные диодные насосы (NP серия).
  • Водородные диодные насосы (HP серия).
  • Триодные насосы (TP серия).

В стандартных диодных насосах используются два титановых катода. Насосы этой серии являются лучшим выбором для большинства приложений в виду их надежности и соотношения скорость откачки/цена. Данные насосы не рекомендуются для откачки больших потоков водорода и инертных газов или для процессов с относительно частой загрузкой обрабатываемых элементов в вакуумную камеру.

В инертных диодных насосах используется один титановый и один танталовый катоды для увеличения скорости откачки инертных газов. Увеличение скорости откачки исключает нестабильность по давлению, возможную в стандартных диодных насосах. Данные насосы наиболее подходят для откачки инертных газов.

Водородные диодные насосы имеют два конструктивных отличия от стандартных. Первое  наличие большого катода. Поскольку водород поглощается титаном, как вода губкой то, чем больше титановый катод, тем больше водорода он сможет впитать. С другой стороны, такое поглощение водорода может привести к физической деформации катода. Поэтому второе отличие водородных насосов состоит в специальной структуре, которая предотвращает искажение катода. Эти насосы рекомендованы для тех приложений, где основной газовой нагрузкой является водород или водородсодержащие газы.

В триодных насосах использована обратная электрическая полярность изменённая конструкция катода, что бы достичь двух важных преимуществ над диодными насосами:

  1. Электрически изолированный катод позволяет разжечь электрических разряд при более высоком давлении, что приводит к значительному сокращению времени выхода на режим.
  2. Распыляющий катод спроектирован таким образом, что может распылять как инертные, так и обычные газы.

Триодные насосы имеют самые высокие скорости для инертных газов и стабильно работают при натекании аргона. Недостаток: изза особенности распыляющего катода триодные насосы требуют более частого сервиса.

Остались вопросы?

Этапы сотрудничества


Шаг 1.Обращение в компанию

Вы можете связаться с нами по телефону, почтой или оставить заявку через форму обратной связи.

Шаг 2. Подбор оборудования

Наши специалисты помогут с выбором необходимого оборудования и комплектующих к нему.

Шаг 3. Заключение договора

После оформляем заказ на доставку оборудования.

Этап 4. Доставка

После оплаты и поступления оборудования осуществляем доставку.


Запросить коммерческие предложение
CRM-форма появится здесь
Cookie-файлы
Настройка cookie-файлов
Детальная информация о целях обработки данных и поставщиках, которые мы используем на наших сайтах
Аналитические Cookie-файлы Отключить все
Технические Cookie-файлы
Другие Cookie-файлы
Мы используем файлы Cookie для улучшения работы, персонализации и повышения удобства пользования нашим сайтом. Продолжая посещать сайт, вы соглашаетесь на использование нами файлов Cookie. Подробнее о нашей политике в отношении Cookie.
Подробнее Понятно
Cookies