Основные шаги процесса испарения рабочих
жидкостей и подачи их в технологическую камеру: 

1. Измеряется расход рабочей жидкости из источника и
расход контролируется клапаном посредством системы
обратной связи.
2. Жидкость полностью и мгновенно испаряется.
3. Образующийся газ подается в технологическую камеру
без реконденсации в жидкую фазу.

Компактные испарители серии MI/MV
Для своей работы используют массовый расходомер жидкости, а также РРГ, который контролирует ввод газаносителя в испаритель. 

Принцип работы испарителей серии MI показан на рисунке ниже.

Свойства и преимущества серии MV:

• Одинаковый с серией MI принцип действия,
• Имеется настройка разности температуры в области смешивания и испарения,
• Низкая температура области смешивания предотвращает температурное расслоение смеси,
• Высокая температура области испарения создает высокую скорость испарения (20 г/мм).